真空阀门

插板阀提供全通径流导,是把腔体与泵隔离的默认选择。挡板(角)阀结构紧凑、成本低,适合小口径和直角布置。摆阀能在很小的安装高度内实现全通径,所以镀膜和液晶面板系统的大口径位置用它。

橡胶密封(FKM、FFKM)成本低、可循环次数多得多,做到 10⁻⁹ mbar 量级没问题。金属密封能到 10⁻¹⁰ mbar 以下、可承受超过橡胶耐受的烘烤温度,但循环寿命短很多、驱动力也更大。只有真空度或烘烤温度确实需要时才选金属密封。

这由执行器配置决定:常闭型断气自动关闭,常开型断气自动打开,双作用型停在当前位置。要保护泵或腔体,安全的选法是常闭执行器,或者配能在关闭位机械自锁的电磁阀。

远小于它关闭时能承受的压力。典型的开启压差上限是几十 mbar,而同一个阀关闭时能顶住 1 bar。带大压差开启会撞击阀板、缩短密封寿命 —— 所以系统会先通过旁通或慢抽管路平衡压力,再开主阀。

可以 —— 插板阀、摆阀、矩形阀系列都有水冷型和温控型作为标准选项。加热是防止可凝性工艺副产物沉积在阀板和阀座上;水冷是在工艺气体温度高时保护密封件。下单时请说明工艺温度和气体成分。