干式螺杆泵
Dry Screw Pumps 115 款产品
无油干式螺杆真空泵,为化工、半导体及工业工艺提供清洁可靠的真空,维护量低。
Edwards 29
Busch 22
Taixing 21
Ebara 18
Mibay 9
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Dry Screw Vacuum System Applic
Dry Screw Vacuum System Applications and Suitability | China Manufactu
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LG and LGB Series Screw Vacuum
LG and LGB Series Screw Vacuum Pumps | High Efficiency for Industrial
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LGB30-FY(Permanent Magnet Version) Air Cooling Screw Vacuum Pump for E
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TGX Series Dry Screw Vacuum Sy
TGX Series Dry Screw Vacuum System: High-Efficiency Vacuum for Semicon
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TGX-Series Dry Screw Vacuum Pump: High-Performance Vacuum Solutions fo
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TX Oil-Free Screw Vacuum Pump – Energy-Efficient and Eco-Friendly Solu
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Water cooling TXLGB140 series
Water-Cooled TXLGB140 Series Dry Screw Vacuum Pump
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Atlas Copco 6
其它品牌 6
S-VSI 300(VSI301(03)IV)
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S-VSI 300(VSI301(03)IV)
S-VSI 300(VSI301(03)IV) — screw vacuum pump
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如何选择干式螺杆真空泵
两个相互啮合的螺杆转子在不接触彼此或泵壳的情况下旋转,将气体从入口轴向输送到排气口。泵腔内无需润滑,因此该泵可以处理会损坏油封泵的蒸汽、粉尘和腐蚀性化学物质。现代变螺距转子采用渐进式压缩,与等螺距设计相比,降低了功耗和排气温度。
阅读完整指南 →常见问题
为什么选干式螺杆泵而不是油封泵?
抽气腔里没有油,不会有油蒸气返流到工艺侧,也没有换油和废油处理。半导体、制药、食品工艺,以及溶剂会污染泵油的场合都需要这一点。代价是采购成本和噪声更高。
干式螺杆泵怎么冷却?
按型号和气体负载,采用水冷夹套、风冷或两者结合。没有油带走压缩热,所以冷却不是可选项 —— 干式螺杆泵因超温停机,通常就是冷却回路选小了。安装前先确认所需水流量和进水温度。
干式螺杆泵能应对粉料或冷凝物吗?
比多数干泵好,因为螺杆型线是把固体往排气侧输送而不是截留,很多型号还支持氮气吹扫。但粉料量大仍需进气过滤器;粘性冷凝物要给泵体加热,否则会在转子里凝固。
干式螺杆泵需要什么维护?
按周期换齿轮箱油、检查轴封、清除冷却回路水垢,工艺有固体沉积时清洗抽气腔。抽气腔里没有泵油,但齿轮箱和轴承的润滑脂/油有保养周期。
能提供螺杆泵配罗茨增压的成套机组吗?
可以。螺杆泵做前级配罗茨增压是既要低极限真空又要该压力下大抽速时的标准配置。我们提供整机撬装:泵、增压机、阀门、仪表和控制整体组装并测试。把工艺条件发来做选型。


















































































