低温泵
Cryogenic Pumps 46 款产品
低温真空泵,为半导体、溅射和科研应用提供最高的抽速和最洁净的真空。
Taixing 23
ULVAC 3
其它品牌 7
设备交期随报价确认Mibay
CRYO-P Series High Vacuum Cryo
CRYO-P Series High Vacuum Cryogenic Pumps for Semiconductor and Coatin
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设备交期随报价确认Mibay
ECM Series Cryopump for Semico
ECM Series Cryopump for Semiconductor Manufacturing and Ion Implantati
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如何选择低温真空泵
低温泵将气体冷凝在低温表面上。闭循环氦气制冷机将第一级维持在 80 K 附近，用于在辐射屏和百叶窗上冷凝水和碳氢化合物；将第二级维持在 15 K 附近，用于在阵列上冷凝氮气、氧气和氩气，并利用粘附在其上的活性炭吸附氢气、氦气和氖气。没有任何物质被排出腔室，因此对水的抽速极大——这正是高真空工艺腔室所需要的。
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低温泵抽什么、不抽什么?
它把水和大多数气体冷凝在冷阵列上,把氢、氦、氖吸附在活性炭板上。氦不能无限抽 —— 活性炭会饱和;也不能在粗真空下使用。它最擅长的是抽水,所以镀膜和离子注入设备用它。
低温泵多久要再生一次?
当冷凝负载开始限制性能时 —— 实际判据是抽气时间变长或第一级温度上升。周期由工艺负载决定:潮湿的镀膜腔可能每周就要再生,洁净的超高真空系统一年几次即可。
低温泵需要哪些配套?
氦压缩机及供回气管路、压缩机的冷却水、把系统抽到低温泵启动压力的粗抽泵,以及隔离阀。压缩机本身也是保养对象:吸附器和油要按周期换。
能供冷头、压缩机和配件吗?
可以 —— 冷头、氦压缩机、吸附器、排移器与密封套件、电机维修包,覆盖常见的 CTI 和住友系列,以及我们自己的 CRYO-P 系列。请把泵和压缩机型号一起给,因为两者要配套。