Высоковакуумные клапаны

Шиберные затворы дают полное проходное сечение и являются стандартом для отсечки камеры от насоса. Угловые компактны и дешевле для линий малого диаметра и поворотов на 90°. Маятниковые обеспечивают полное сечение при значительно меньшей строительной высоте — поэтому их применяют на больших диаметрах в напылении и производстве ЖК-панелей.

Эластомерные уплотнения (FKM, FFKM) дешевле, выдерживают намного больше циклов и годятся до 10⁻⁹ мбар. Металлические уплотнения работают ниже 10⁻¹⁰ мбар и переносят прогрев выше допустимого для эластомеров, но ресурс по циклам значительно ниже, а усилие привода выше. Металл выбирайте только когда давление или температура прогрева этого действительно требуют.

Это задаётся выбором привода: нормально закрытый закрывается при потере воздуха, нормально открытый — открывается, двойного действия остаётся в текущем положении. Для защиты насоса или камеры безопасный выбор — нормально закрытый привод либо электромагнитный клапан с механической фиксацией в закрытом положении.

Значительно меньше, чем давление, которое он держит в закрытом положении. Типичный предел перепада при открытии — десятки миллибар, тогда как тот же затвор держит 1 бар закрытым. Открытие при большом перепаде бьёт по тарелке и сокращает ресурс уплотнения — поэтому давление выравнивают через байпас или линию медленной откачки.

Да — исполнения с водяным охлаждением и терморегулированием являются штатными опциями для шиберных, маятниковых и прямоугольных серий. Обогрев не даёт конденсирующимся продуктам осаждаться на тарелке и седле; охлаждение защищает уплотнение при горячем технологическом газе. Укажите температуру процесса и газ при заказе.