闸阀、角阀、蝶阀、摆阀——真空阀门怎么选?

先看两件事：阀门是否需要在全压差下隔离，以及开启时是否需要退出气体通道。这两个问题在你还没看价格之前就能排除目录中大部分型号。

闸阀（也叫滑板阀）将阀板完全移出通径，因此开启时几乎不产生阻力——其流导接近于直管。这一点在涡轮泵或低温泵上方尤为重要，因为节流入口的阀门会白白浪费你花钱买来的抽速。代价是长度：阀体必须容纳阀板，因此闸阀在物理上较深。

角阀将气流转向90°，这使其成为泵连接到腔体侧面或需要隔离规管或粗抽管路的天然选择。它们结构紧凑，相对尺寸而言价格低廉，而波纹管密封版本无需在真空中使用弹性体即可密封阀杆，这就是它们在小口径高真空管路上占主导地位的原因。

蝶阀在通径中放置一个圆盘并旋转它。圆盘从不离开气体通道，因此开启时的流导明显低于同尺寸的闸阀——但阀体短、价格低，对于节流或前级管路中不追求极限抽速的场合，这种取舍通常是正确的。蝶阀也是可控节流阀的标准基础。

摆阀将阀板沿弧线摆动然后压下，以更短的阀体提供像闸阀一样的全通径流导。这就是它们在涡轮泵上方垂直空间紧张的半导体工艺腔体上成为标准配置的原因。它们成本更高，真空中运动部件也更多。

然后检查决定阀门能否存活的三个因素：允许的压差及其允许施加的方向（许多阀门只能单向密封）；密封材料与你的工艺兼容——FKM是默认选择，某些溶剂用EPDM，而在烘烤或超高真空排除弹性体的场合用全金属（通常是铜或金属密封）；以及你实际能提供的驱动方式——气动需要规定压力下的清洁干燥空气，电动需要正确的电压，手动只有在循环过程中无人操作时才现实。