油扩散泵
Diffusion Pumps 3 款产品
高真空油扩散泵,适用于真空镀膜、真空炉、冶金和科研——经济实惠,抽速高。
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High Vacuum Oil Diffusion Pump
High Vacuum Oil Diffusion Pumps: KC, KT, and DP Series for Industrial
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如何选择扩散泵
扩散泵通过加热低蒸气压液体使其沸腾，蒸气沿导管上升并经过倾斜喷嘴向下喷出，形成超音速射流。进入射流的气体分子被推向排气口，并由前级泵抽走。由于没有运动部件，该泵运行安静、维护成本低、对颗粒物有耐受性，且只要维护好泵油和冷却系统，其使用寿命极长。
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油扩散泵现在还值得用吗?
大容积、大抽速的高真空场合,只要工艺能容忍烃类或硅油,它仍然值得用 —— 没有运动部件、单位抽速便宜、对工艺波动非常宽容。在意油返流的场合已经被分子泵取代。
怎么防止扩散泵油返流进腔体?
在泵和腔体之间加水冷挡板或液氮冷阱,泵没热稳定之前绝不开高真空阀,也不要在超过最大入口压力下运行。多数返流问题出在操作顺序上,而不是泵本身。
扩散泵油多久换一次?
油色变深或泵达不到标称真空时就该换。真正毁油的是工作温度下的进气冲击 —— 热态下一次误充气就可能让油裂解,必须整体换油并清洗喷嘴组件。