氦质谱检漏仪

真空模式下,状态良好的仪器可分辨到 1x10⁻¹² Pa·m³/s 量级;吸枪模式因为要采环境空气,实际极限要粗几个数量级。标称值只在用标准漏孔校准过、且被检件干净干燥时成立。

被检件能抽真空、且要测总漏率并要最高灵敏度时用真空模式;被检件充氦加压、需要定位漏点,或者根本没法抽真空时用吸枪模式。很多产线两种都用:真空模式判合格,吸枪找具体位置。

至少每班开始时用内置或外置标准漏孔校准一次;更换灯丝、清洗离子源或搬运之后要重新校准。质量体系通常还要求标准漏孔本身每年送检,因为它的漏率会随时间和温度漂移。

可以 —— 离子源灯丝、电子倍增器、分析室部件、标准漏孔、吸枪与滤芯、阀体和电磁阀,覆盖常见的 ASM、ASI、Modul、UL 系列。把仪器型号和料号发来即可;兼容件标注为兼容,原厂件标注为原厂。

常见原因:氦已溶进橡胶密封件、或上一次测试后残留在被检件里;仪器自身阀块内漏;大量氦冲击后离子源饱和。让系统过夜抽气,再用已知合格件复测;本底仍不下降,就要检修阀块或离子源。