真空阀门的漏率该看什么?什么时候必须用全金属阀?

要读两个数，而不是一个：关闭阀座处的泄漏率，以及阀体向大气环境的泄漏率。它们是不同的规格，一个阀门可以在其中一方面表现优异，而在另一方面表现一般。

阀体泄漏率是限制阀门所在系统极限压力的因素——它像任何其他外部泄漏一样。阀座泄漏率限制的是阀门将系统一部分与另一部分隔离的效果；关闭阀门后方通向大气的腔室总会通过阀座推入少量气体。哪个数值重要取决于你使用阀门的用途，而实际需要阀体密封时却要求阀座密封，是造成过度支出的常见原因。

弹性体密封阀密封良好且成本低得多，对于低至 10⁻⁶ mbar 数量级的任何应用，它们通常是正确的选择。它们的限制不是密封——而是渗透和放气。氦和氢会持续扩散通过弹性体，任何弹性体都会释放水和增塑剂；两者都为可达到的压力设定了下限，而且密封暴露时间越长，两者都会越严重。

全金属阀存在于该下限过高的场合：超高和极高真空应用，以及任何必须烘烤的系统。烘烤通常是决定性标准——弹性体在其额定温度以上会降解，因此你打算在 150 °C 或更高温度下烘烤的腔室需要全程使用金属密封，包括阀门。全金属阀的成本高出数倍，在阀座需要维护前具有有限的完全密封循环次数，并且需要规定的关闭扭矩。

一条能省钱的实用规则：仅在压力或烘烤要求迫使时使用全金属，在要求未达到的地方全部使用弹性体密封阀。在一个系统中混合使用两者是正常的，不是妥协。

当你询价时，能让我们第一次就正确选型的数值是：工作压力范围、系统是否烘烤以及烘烤到多少温度、工艺气体、关闭阀门两侧的压差及方向，以及循环速率。发送这些信息后，候选清单通常会是两三个型号，而不是一整本目录。