离子泵

它是超高真空泵:大约从 1x10⁻³ Pa 起可以启动,最佳工作区在 1x10⁻⁵ Pa 以下,烘烤过的系统能到 10⁻⁸ Pa 量级甚至更低。它无法从低真空启动,必须先用分子泵或吸附泵把系统抽下来。

二极型对活性气体抽速更高、结构更简单。三极型对氩等惰性气体的抽除能力强得多,在较高压力下也更稳定,代价是抽速略低。有氩气的系统(溅射、离子注入)通常选三极型。

寿命按抽走的气体总量算,不按日历时间 —— 钛阴极是消耗件。在洁净、烘烤过、运行在 10⁻⁸ Pa 量级的系统里,一组阴极可以用很多年;同一台泵如果反复从 10⁻³ Pa 抽起,会消耗快得多。

要达到标称极限真空就必须烘烤。烘烤把内表面的水赶出去;不烘烤时出气占主导,系统会比标称值高好几个数量级。要遵守该型号的最高烘烤温度,并注意别超过磁体的允许温度。

抽气过程不能单独用。它需要粗抽和高真空级把系统抽到启动压力,还需要隔离阀避免暴露大气。系统进入超高真空后,离子泵可以独立维持,无运动部件、无振动 —— 这就是它用在束线和表面分析设备上的原因。