真空阀门用气动、电动还是手动?

根据循环次数和机台上已有的公用工程来选择。一个每班仅开启 2 次的阀门和一个每片晶圆都循环动作的阀门，即使尺寸和法兰相同，也是不同的产品。

气动是任何自动循环动作的默认选择。它速度快，没有会过热的电机，而且弹簧复位版本在失气时会失效到确定状态——这正是安全联锁中真正重要的特性。人们低估的要求是空气本身：阀门需要数据表上规定压力的清洁、干燥压缩空气，而工厂空气管路中携带油或水，会在真空密封磨损之前很久就损坏执行器密封。

电动适用于没有压缩空气可用，或需要位置反馈和中间位置而无需单独定位器的场合。它速度较慢，单台通常更贵，而且在断电时它会保持在原位，除非你指定失效安全版本——这与弹簧复位气动正好相反，值得有意决定而不是默认选择。

手动适用于阀门在设置期间设定一次后就不再管的地方——隔离压力表、粗抽支路或按计划打开维修的容器。它最便宜，没有什么会失效。一旦有人必须在工艺循环内操作它，它就变得不合适了，因为最终会以错误的顺序被操作。

对于这三种，都要将所需的位置指示与驱动方式分开指定。气动阀门上的限位开关让控制器知道阀门实际移动了，而不是被命令移动了——这两者之间的差异正是大量令人意外的工艺故障所在。

还有一点对使用寿命的影响比执行器选择更大：循环频率与密封的关系。一个在清洁气体管路中额定数百万次循环的阀门，在携带工艺颗粒的管路中无法达到这个数字，因为密封面正是颗粒聚集的地方。如果你的工况是脏的，要询问密封结构，而不是循环额定值。