选型指南
每类泵怎么选,写给采购看,不是抄样本。每篇末尾都接到我们真正能供的型号。
真空泵液是泵的工作部件，而非可有可无的消耗品。它起到密封间隙、润滑旋片和轴承、带走热量以及设定泵极限压力的作用——使用变质油运行的泵在发出噪音之前很久就会失去真空度。矿物油适用于常规工况；双馏和合成烃油具有更低的蒸气压；PFPE 液具有惰性，是氧气、臭氧和强化学活性物质的唯一安全选择；硅油和多苯醚液…
阅读 →如何选择旋片式真空泵油封式旋片泵是低真空和中真空领域的主力设备。转子在泵腔内偏心旋转；受弹簧或离心力驱动的旋片将气体从进气口扫向排气口，同时油膜密封间隙、润滑旋片并带走热量。单级泵通常达到 10⁻¹ mbar 数量级；双级泵将第二组转子串联，可达到 10⁻³ mbar 数量级。…
阅读 →如何选择干式涡旋真空泵涡旋泵使用一个静止涡旋盘和一个运动涡旋盘；它们之间形成的月牙形腔室在向内移动时缩小，从而将气体压缩至排气口。抽气容积内无油，因此不会有任何物质返流进入真空腔室。沿每个涡旋盘边缘的密封条起密封作用，它们是易损件——使用寿命是一项实际规格，更换密封条属于常规维护，而非维修。…
阅读 →如何选择涡轮分子泵涡轮分子泵是由一组以每分钟数万转高速旋转的倾斜转子和定子叶片组成的。在转子叶尖速度的作用下，叶片给予气体分子一个择优方向，因此该泵仅在分子流状态下工作——它始终需要一台前级泵先降低前级管道压力。压缩比在很大程度上取决于气体种类：氮气的压缩比极高，而氢气和氦气的压缩比则低得多，这就是为什么分子泵抽气的…
阅读 →如何选择氦质谱检漏仪氦质谱检漏仪对被测部件抽真空，然后将小型磁偏转分析器调至质量数 4。使用氦气是因为它分子小、呈惰性、安全且在空气中含量稀少，因此任何高于本底的信号即为泄漏。检漏仪可达到 10⁻¹² mbar·L/s 数量级——远超压力衰减法或气泡测试所能达到的分辨率。…
阅读 →选择合适的真空计没有单一的真空计能覆盖整个真空量程，因此问题始终在于针对哪个数量级选择哪种传感器。电容薄膜规直接测量压力，且与气体种类无关，测量范围从大气压降至约 10⁻⁴ mbar。皮拉尼规和热电偶规通过热损失推算压力，覆盖从大气压到约 10⁻⁴ mbar 的范围，但其读数取决于气体种类。热阴极和冷阴极电离规负责…
阅读 →如何选择水环真空泵水环泵在部分充满工作液（通常是水）的泵壳内偏心地旋转叶轮。离心力将液体甩向泵壁形成液环；由于叶轮是偏心的，叶片间的容积在旋转时不断增大和缩小，从而吸入并排出气体。液环起密封作用，因此该泵可以吸入会损坏干式泵的夹带物、液团、粉尘和可凝性蒸汽。…
阅读 →如何选择罗茨真空增压泵罗茨泵（机械增压泵）具有两个以相反方向旋转的“8”字形转子，转子之间间隙极小且互不接触。它不能单独向大气排气——它总是安装在前级泵之上，并在前级泵单独工作速度变慢的压力范围内，将系统的抽速提高，通常提高 4 到 10 倍。…
阅读 →如何选择干式螺杆真空泵两个相互啮合的螺杆转子在不接触彼此或泵壳的情况下旋转，将气体从入口轴向输送到排气口。泵腔内无需润滑，因此该泵可以处理会损坏油封泵的蒸汽、粉尘和腐蚀性化学物质。现代变螺距转子采用渐进式压缩，与等螺距设计相比，降低了功耗和排气温度。…
阅读 →如何选择溅射离子泵溅射离子泵没有运动部件。强磁场将电子束缚在潘宁池内；电子使残余气体电离，离子撞击钛阴极并被埋藏其中，而溅射出的钛则对周围表面的活性气体进行化学吸气。由于抽气方式是捕集式而非传输式，该泵运行安静、无振动且可运行多年——但它必须在高真空下启动，且容量有限。…
阅读 →如何选择爪式真空泵爪式泵使用两个爪型转子，在不接触彼此或泵壳的情况下反向旋转。气体被吸入，随着转子扫过排气口而被压缩并排出——整个过程在泵腔内无需润滑油，且气路中没有易损件。这实现了无油运行，维护需求极低，且在长期连续运行中性能稳定。…
阅读 →如何选择隔膜真空泵隔膜泵通过在带有两个止回阀的泵头上使弹性体或 PTFE 膜片往复运动来工作。由于没有摩擦且无需润滑，气路可以做到完全惰性。极限真空随串联级数的增加而提高；配备 PTFE 涂层隔膜和阀门的耐腐蚀泵头可以处理会损坏油封泵的溶剂和酸。…
阅读 →真空机组选型真空机组是一套匹配的设备——包括泵、增压泵、阀门、真空计、控制系统和机架——作为整机进行调试，而非在现场组装。其价值在于匹配：前级泵抽速与增压泵排量的匹配、切换压力、连锁控制以及从大气压抽至极限压力的程序，确保不会出现停转或过热。…
阅读 →如何选择扩散泵扩散泵通过加热低蒸气压液体使其沸腾，蒸气沿导管上升并经过倾斜喷嘴向下喷出，形成超音速射流。进入射流的气体分子被推向排气口，并由前级泵抽走。由于没有运动部件，该泵运行安静、维护成本低、对颗粒物有耐受性，且只要维护好泵油和冷却系统，其使用寿命极长。…
阅读 →如何选择低温真空泵低温泵将气体冷凝在低温表面上。闭循环氦气制冷机将第一级维持在 80 K 附近，用于在辐射屏和百叶窗上冷凝水和碳氢化合物；将第二级维持在 15 K 附近，用于在阵列上冷凝氮气、氧气和氩气，并利用粘附在其上的活性炭吸附氢气、氦气和氖气。没有任何物质被排出腔室，因此对水的抽速极大——这正是高真空工艺腔室所…
阅读 →真空泵维修与保养包保养包捆绑了特定泵在定期大修中消耗的零件——旋片、顶点密封、O型圈和垫片、轴封、过滤器、轴承，以及在相关情况下的正确泵液。购买保养包而非单个零件非常重要，因为保养包是与泵的变体相匹配的：两台具有相同型号但制造代码不同的泵通常需要不同的密封件组。…
阅读 →真空密封件、O型圈和密封条密封是大多数真空系统失效的地方。KF 和 ISO 接头上的弹性体 O型圈安装和拆卸都很快捷，真空度可达约 10⁻⁸ mbar，其烘烤极限由材料决定；CF 法兰上的金属密封件利用刀口切入铜垫片，可承受 450 °C 烘烤并达到 UHV。涡旋泵密封条则完全不同——它是运转机器内部的易损密封件，标称使用寿…
阅读 →真空泵零配件除了密封套件，真空系统还需要消耗许多其他部件：防止灰尘进入泵腔的进气过滤器和分离器、排气油雾消除器和消音器、回油管、气镇阀、联轴器、轴承、转子和旋片、控制器和电源、冷却部件以及将它们连接在一起的接头。这些部件决定了泵是否能达到其额定使用寿命。…
阅读 →KF, ISO 和 CF 真空配件真空硬件遵循三个法兰系列。KF (也称为 NW 或 QF) 使用中心圈和由铰链卡箍固定的弹性体 O-ring —— 快速、可重复使用，适用于约 10⁻⁸ mbar，尺寸 DN10 至 DN50。ISO-K 和 ISO-F 处理较大的孔径，DN63 及以上，使用爪钩卡箍或螺栓环。CF (ConFlat…
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