技术问答
工程师真正问我们的问题,按它值得的篇幅回答——讲清依据、给出要核的数字,以及当答案是「这台泵不适合你的工况」时该怎么办。
在清洁、干燥的空气工况下：每运行 3,000 至 6,000 小时。但这一数字只是起点，不是规则——真正决定换油周期的是你抽什么，而不是抽多久。…
旋片真空泵 · 阅读 →我的腔体需要多大的真空泵?选型要看三个数字，而不是一个：腔室容积、你需要达到的压力，以及你能接受的抽气时间。只看抽速会误导你，因为泵在接近其极限压力时几乎不抽气。…
旋片真空泵 · 阅读 →分子泵需要配什么前级泵?涡轮泵无法在常压下启动——它需要一台前级泵先将前级管路压力降至低毫巴范围，并在涡轮泵运行期间将其维持在该范围内。前级泵的选型涉及两项不同的要求，而大多数错误都源于只核查了其中一项。…
涡轮分子泵 · 阅读 →分子泵为什么达不到标称极限真空?按这个顺序逐项排查——先查前级压力，再查漏气，然后是放气，接着是规管，最后才是泵本身。顺序很重要，因为前三项能解释绝大多数情况，而且检查起来不花什么成本，而最后一项代价高昂，却往往被过早归咎。…
涡轮分子泵 · 阅读 →旋片泵能抽水蒸气吗?可以——但前提是必须打开气镇阀，并且只能在泵标称的水蒸气耐受范围内运行。如果在没有气镇的情况下运行，水蒸气会在泵内凝结，使油变成乳白色，并在数小时内破坏其密封和润滑功能。…
旋片真空泵 · 阅读 →抽空后氦本底信号为什么一直降不下来?有四种原因，它们不是靠信号有多高来区分，而是靠信号随时间如何变化来区分：溶解在弹性体密封件中的氦、上一次测试残留在被检件中的氦、仪器自身阀块的内漏，或者只是需要时间和一次清洁抽空才能恢复的饱和探测器。…
氦质谱检漏仪 · 阅读 →罗茨泵和前级泵的配比怎么选?罗茨泵与背压泵之间大约4:1到6:1的速比是常见的工业范围。范围更宽会增加罗茨转子两端的压差并导致过热；范围更窄则浪费罗茨泵的抽速和您的投资。…
罗茨真空泵 · 阅读 →隔膜泵、涡旋泵、旋片泵怎么选?按两个问题依次选择：你实际需要多大压力，以及你的工艺能否容忍油。其他一切——价格、噪音、维护周期——都由这两个问题决定，而回答顺序颠倒，正是人们最终买到一台技术上能用、实际上却不好用的泵的原因。…
隔膜泵 · 阅读 →闸阀、角阀、蝶阀、摆阀——真空阀门怎么选?先看两件事：阀门是否需要在全压差下隔离，以及开启时是否需要退出气体通道。这两个问题在你还没看价格之前就能排除目录中大部分型号。…
真空阀门 · 阅读 →真空阀门用气动、电动还是手动?根据循环次数和机台上已有的公用工程来选择。一个每班仅开启 2 次的阀门和一个每片晶圆都循环动作的阀门，即使尺寸和法兰相同，也是不同的产品。…
真空阀门 · 阅读 →真空阀门的漏率该看什么?什么时候必须用全金属阀?要读两个数，而不是一个：关闭阀座处的泄漏率，以及阀体向大气环境的泄漏率。它们是不同的规格，一个阀门可以在其中一方面表现优异，而在另一方面表现一般。…
真空阀门 · 阅读 →KF、CF、ISO 法兰怎么选?压力范围决定选型，尺寸决定其余部分。KF 适用于从粗真空到高真空的小尺寸管径，ISO 适用于同样压力范围的更大口径，而当您需要超高真空或烘烤时则采用 CF。其余的一切——成本、装配时间、是否需要工具——都是这一选择的自然结果，而不是决定因素。…
真空管件与法兰 · 阅读 →真空密封选 FKM、EPDM 还是铜垫?FKM（Viton）是默认选择，可覆盖大多数工业真空应用。只有在有明确原因时才更换：当工艺流体侵蚀 FKM 时选用 EPDM，当压力或烘烤使弹性体超出适用范围时选用金属。凭习惯而不是按工艺选型，正是密封件过早且莫名其妙失效的原因。…
真空管件与法兰 · 阅读 →什么时候需要真空波纹管?怎么选?当系统的两个刚性部件必须相对运动时——热膨胀、泵振动，或无法通过设计消除的对中偏差——应安装波纹管。波纹管不是用来弥补管路装配粗糙的手段，这样用恰恰会使其损坏。…
真空管件与法兰 · 阅读 →我的氦质谱检漏仪该用哪种离子源灯丝?在下表里找到你的检漏仪,直接读件号。离子源灯丝是质谱室的电子发射源:加热到发射温度后,它放出的电子把从测试口吸进来的气体电离,只有由此产生的氦离子能到达收集极,变成漏率信号。任何一台氦质谱检漏仪都有这个件,而且在任何一台上它都是消耗品。…
氦质谱检漏仪 · 阅读 →真空泵油变成乳白色了 —— 说明什么?泵还能救吗?乳白色就是油里进了水。油和水在泵腔里被搅成了乳液,此刻泵已经没有连续油膜在工作。**当班内处理,泵基本救得回来**;真正毁泵的是就这么开上几周。…
旋片真空泵 · 阅读 →泵油变黑了(或者变稠了)—— 是正常损耗还是警告?**变黑和变稠是两回事,原因也不同,下单前先分清。** 变黑是油被过热或氧化了;变稠是有东西被带进了油里 —— 聚合物、粉尘,或者会交联的工艺蒸汽。…
真空泵油与润滑脂 · 阅读 →干式涡旋泵的尖端密封什么时候该换?拖着不换会怎样?**按小时换,不要按症状换。** 多数厂家把清洁工况下的周期定在 8,000–16,000 运行小时 —— Edwards nXDS 是 16,000,XDS 按规格大约 8,000–10,000。粉尘或含蒸汽工况要减半。等出症状再换是贵的那条路,下面说为什么。…
干式涡旋真空泵 · 阅读 →真空度变差了,但泵的声音和电流跟以前一模一样 —— 该查哪里?**该查的是内部间隙,不是漏。** 会改变声音或电流的故障是机械性的;**只改变压力、别的什么都不变的故障,几乎一定是泵内部某处有缝,气体在往回窜。** 这个区分能把范围缩到很小,而多数人跳过了它。…
真空零部件 · 阅读 →液环泵抽不到以前的真空度了 —— 先查什么?**动泵之前先量工作液温度。** 十次里有七八次答案就在这儿,而且量它不花一分钱。…
液环真空泵 · 阅读 →干泵的电机电流一直在慢慢往上爬 —— 里面在发生什么?**粉末正在各级堆积,把间隙吃掉。** 同一工况点下功率上升,是干泵给出的最早信号,它出现得远早于噪音变化和跳机。**应当把它当成一个保养触发条件,而不是一个「再观察观察」的现象。**…
干式螺杆泵 · 阅读 →岛津 TMP-V2304LM:轴承什么时候该换?拖着不换代价是什么?TMP-V2304LM 是**磁悬浮**涡轮分子泵,所以客户问的「轴承」几乎都是**保护轴承**(touch-down bearing),不是常规运转轴承。它只在磁悬浮失效时接住转子 —— 掉电、急停、控制器故障。**每发生一次,它的寿命就消耗一截;决定更换周期的是这个次数,不是日历时间。**…
涡轮分子泵 · 阅读 →Pfeiffer / Adixen ASM 检漏仪:3G 分析室该用哪种灯丝?为什么老坏?ASM 310、ASM 340、ASM 380、ASM 390 用的 **3G 分析室**,灯丝件号是 **129108S** 和 **114864S**。而 ASM 142 / 182 / 192 那一代用的是另一种分析室,对应 **053146**(也写作 2000052200)。**把这两代分…
氦质谱检漏仪 · 阅读 →Pfeiffer HiPace 80:运行油储该什么时候换?不换会怎样?Pfeiffer 把它定为**一级保养**,通常**每四年**或按控制器给出的周期,以先到者为准。件号是 **PM 143 740 -T**(也写作 PM143740-T 或 PM143740T),是一块浸了 TL 11 油的**毛毡储油件**,随件配齐回装需要的 O 圈。…
涡轮分子泵 · 阅读 →ASM 检漏仪的内置标准漏孔:多久要重新标定?过期的还能用吗?**一年一次**是常规重标周期,原因是物理的,不是走流程:**渗透式标准漏孔会漏空**。氦气储腔通过那层定义漏率的渗透膜持续失气,所以**漏率本身会随寿命向下漂移**。过期的漏孔不是随机偏,**它是偏低** —— 而偏低会让你的仪器显得比实际更灵敏。…
氦质谱检漏仪 · 阅读 →