分子泵为什么达不到标称极限真空?

按这个顺序逐项排查——先查前级压力，再查漏气，然后是放气，接着是规管，最后才是泵本身。顺序很重要，因为前三项能解释绝大多数情况，而且检查起来不花什么成本，而最后一项代价高昂，却往往被过早归咎。

第一，前级压力。要实际测量，不要凭假设。如果它高于涡轮泵的临界背压，压缩就会崩溃，无论涡轮泵多健康，腔室永远达不到目标压力。原因包括：前级泵磨损或选型偏小、其油品劣化、前级管路节流或泄漏，或者前级阀关闭或部分关闭。这是最常见的答案，也是修复成本最低的。

第二，真实漏气。腔室会稳定在漏入速率等于泵抽速时的压力。如果压力很快进入平台并保持平坦，怀疑是漏气；如果压力下降缓慢并持续下探，则怀疑是放气。这个区分——平台还是缓慢下探——是你手头最快且免费的诊断手段。如果平台压力偏高，用氦检漏加以确认。

第三，放气和水分。一个曾暴露于室内空气的腔室，其每个内表面都会附着一层水膜，在室温下可能需要很多小时才能离开。如果压力一小时接一小时地持续改善，你看到的是脱附，而不是故障。烘烤，或者干脆多等一段时间，就是解决办法；换更大的泵没用。

第四，规管。灯丝被污染或老化的电离规会读数偏高，而安装在死端短管上的规管读到的是短管内的压力，不是腔室的压力。在判定泵有问题之前，用第二个规管交叉核对，或者对照这套系统过去能达到的数值。

最后才轮到泵。轴承磨损表现为噪声、振动、电流升高，或转子达不到满速。叶片上的污染物会降低压缩比。这两者都是真实存在的，都是可修复的，而且在订购零件之前都值得确认——把型号、你测得的前级压力、腔室压力以及它随时间的变化情况发给我们，我们会告诉你它看起来像其中哪一种。