分子泵需要配什么前级泵?

涡轮泵无法在常压下启动——它需要一台前级泵先将前级管路压力降至低毫巴范围，并在涡轮泵运行期间将其维持在该范围内。前级泵的选型涉及两项不同的要求，而大多数错误都源于只核查了其中一项。

为什么涡轮泵无法单独完成：涡轮分子泵通过动量传递来输送气体——高速旋转的叶片将分子推向排气口。这只有在分子在碰撞之间行进的距离大于叶片间距时才有效，即处于分子流状态。在常压下，气体处于黏性流状态，叶片只是搅动气体，因此泵不会产生净抽速，反而会升温。

第一项要求是涡轮泵数据表上标注的临界前级压力（有时称为最大前级压力）——通常在低毫巴范围内，对于宽叶片高压缩比型号则更低。超过该值，压缩比就会崩溃：涡轮泵继续旋转、消耗电流、发热，而你的腔室压力却朝反方向变化。这是“我的涡轮泵达不到极限压力”最常见的原因。

第二项要求是在你的工作点处的吞吐量。前级泵的抽速必须能够在你实际运行的前级压力下——而非常压下——排走涡轮泵输送的气体负载。一台在抽气阶段绰绰有余的泵，在持续放气的工艺过程中可能就捉襟见肘了。

油封泵与干式泵之间的选择比人们预期的更为重要。旋片式前级泵便宜且安静，但会增加碳氢化合物返流风险，这对洁净或分析类工作至关重要；干式涡旋泵或隔膜泵消除了这一风险，但每 m³/h 的成本更高。隔膜泵仅适用于气体负载较低的小型涡轮泵，因为其极限压力接近涡轮泵的临界前级压力，几乎没有余量。

决定可靠性的两个细节：在前级管路上安装阀门和放气装置，使涡轮泵在降速过程中永远不会接触常压；并保持前级管路短而宽——即使前级泵本身足够，节流的前级管路也会抬高涡轮泵所承受的压力。