Почему турбомолекулярный насос не выходит на предельное давление?

Двигайтесь в таком порядке — сначала форвакуумное давление, затем течь, затем газовыделение, затем датчик, и только потом сам насос. Порядок важен, потому что первые три объясняют подавляющее большинство случаев и ничего не стоят для проверки, тогда как последний дорог и обычно в нём обвиняют слишком рано.

Во-первых, форвакуумное давление. Измерьте его, не полагайтесь на предположения. Если оно выше критического выпускного давления турбонасоса, степень сжатия падает, и камера никогда не выйдет на нужное давление, каким бы исправным ни был турбонасос. Причины: износ или недостаточная производительность форвакуумного насоса, деградация его масла, дросселирование или утечка в форвакуумной линии, либо закрытый/частично закрытый форвакуумный клапан. Это самая частая причина и самая дешёвая в устранении.

Во-вторых, реальная течь. Камера выходит на давление, при котором скорость натекания равна производительности насоса. Если давление быстро выходит на плато и остаётся постоянным, подозревайте течь; если оно падает медленно и продолжает снижаться, подозревайте газовыделение. Это различие — плато против медленного снижения — самый быстрый бесплатный диагностический признак, который у вас есть. Подтвердите гелиевым тестом на герметичность, если плато высокое.

В-третьих, газовыделение и вода. В камере, которая была открыта атмосферному воздуху, на всех внутренних поверхностях остаётся плёнка воды, на удаление которой при комнатной температуре могут уйти многие часы. Если давление улучшается час за часом, вы наблюдаете десорбцию, а не неисправность. Решение — прогрев или просто больше терпения; более мощный насос здесь не поможет.

В-четвёртых, датчик. Ионизационный датчик с загрязнённой или изношенной нитью завышает показания, а датчик, установленный на тупиковом патрубке, измеряет патрубок, а не камеру. Прежде чем приговаривать насос, сверьтесь со вторым датчиком или с тем значением, которое эта же система достигала ранее.

И только после этого — насос. Износ подшипников проявляется как шум, вибрация, повышенный ток или ротор, не выходящий на полную скорость. Загрязнение на лопатках снижает степень сжатия. И то, и другое реально, и то, и другое ремонтопригодно, и то, и другое стоит подтвердить, прежде чем заказывать детали — пришлите нам модель, измеренное форвакуумное давление, давление в камере и характер его изменения во времени, и мы скажем, на что из этого это похоже.