如何选择涡轮分子泵

涡轮分子泵是由一组以每分钟数万转高速旋转的倾斜转子和定子叶片组成的。在转子叶尖速度的作用下，叶片给予气体分子一个择优方向，因此该泵仅在分子流状态下工作——它始终需要一台前级泵先降低前级管道压力。压缩比在很大程度上取决于气体种类：氮气的压缩比极高，而氢气和氦气的压缩比则低得多，这就是为什么分子泵抽气的真空室中残余质谱往往富含氢气的原因。

匹配四个要素：您所关注气体的抽速、进气口法兰（CF 用于可烘烤的 UHV，ISO-K 用于高真空）、轴承类型以及前级泵。油脂润滑陶瓷混合轴承价格低廉且安装方向受限；磁悬浮轴承无接触、无振动、无需维护且可任意角度安装——对于分析仪器和长运行时间设备来说，多出的成本是值得的。如果工艺过程涉及颗粒物或腐蚀性物质，请咨询吹扫口和涂层转子的相关信息。

典型应用：质谱和电子显微镜、薄膜沉积和溅射、半导体工艺设备、检漏、航天及加速器模拟室。损坏几乎总是机械性的——全速运转时突然放气至大气、掉入颗粒物或轴承运行超过维护间隔——因此，放气阀和维护周期与泵本身同样重要。