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技术问答

我的氦质谱检漏仪该用哪种离子源灯丝?

在下表里找到你的检漏仪,直接读件号。离子源灯丝是质谱室的电子发射源:加热到发射温度后,它放出的电子把从测试口吸进来的气体电离,只有由此产生的氦离子能到达收集极,变成漏率信号。任何一台氦质谱检漏仪都有这个件,而且在任何一台上它都是消耗品。

多数买家没想到的是:那么多品牌背后,真正不同的灯丝其实没几种。件号 16504 一根灯丝吃下整个 INFICON UL 系列、LDS3000 与 LDS800、莱宝 Phoenix L200i/L300i 和 UL500,以及 LINXON LX218。件号 B8199999EU 同时适配普发 HLT 系列和爱德华 ELD500。如果你的设备是混装的,一根备件常常能覆盖两个厂家的两台机器。

检漏仪品牌灯丝件号适配机型类型
Pfeiffer / Adixen129108S · 114864S · 2000048862ASM 310 / 340 / 340 D / 340 W / 380 / 390 · ASI 35 — 3G cell
Pfeiffer / Alcatel053146 · 2000052200ASM 10 / 50 / 51 / 110 / 120 / 142 / 150 / 151 / 180 / 181 TD+ / 182 / 192 T — 2G cell灯丝组件
Pfeiffer / Alcatel2000037625 · A459843ASM 10 … ASM 192 T灯丝+收集极套件
PfeifferB8199999EUHLT 260 / HLT 550 / HLT 560离子源灯丝
Pfeiffer / Alcatel057972 · PM E21 037-TASM 142 / 182 — PI1 Pirani gauge真空计灯丝
EdwardsB8199999EUELD500 · ELD500 WET / DRY / FLEX离子源灯丝
INFICON16504 · PN16504UL100 / UL200 / UL400 / UL500 / UL1000 / UL5000 · LDS3000 · LDS800离子源灯丝
Leybold16504 · 9027900000Phoenix L200i / L300i · UL500离子源灯丝
LINXON16504LX218离子源灯丝
Agilent / VarianR3428301C15 · VSC15 · VS032 · PD03 · PR03氧化钇涂层铱
AgilentST0908L012VSFLDHFR filament kit阴极套件
ShimadzuMSE2400 / MSE2401 / MSE2402 / MSE2403 · MSE-2601离子源灯丝
KYKYZQJ series, incl. ZQJ-230离子源灯丝

灯丝报废有两个原因。一是发射面随运行小时数缓慢蒸发 —— 表现为校准系数逐月往上爬。二是热态进气导致的突然氧化:试件爆破、还在检漏模式时把软管拔了、前级泵失去密封。前者是渐变,后者一次就废。

判据在所有品牌上都一样。如果机器能抽到正常测试压力、真空计读数也合理,但氦信号是平的或者校准完不成,就该怀疑灯丝。如果机器根本抽不到测试压力,故障在上游 —— 前级泵、分子泵,或者检漏仪自己管路上的漏点 —— 换新灯丝解决不了。

多数分析室装两根灯丝并自动切换。这既是保险也是陷阱:已经切到备用灯丝的机器看上去完全健康,直到第二根也断,然后在班中停机。决定订几根之前,先查清你这台正用着哪一根。

材质比看上去重要。纯钨便宜,真空计灯丝里很常见,但热态遇空气会瞬间氧化。铱 —— 以及氧化钇、氧化钍涂层的铱 —— 扛得住,而且在低得多的温度下就能有效发射,所以几乎所有现代检漏仪都用它。磨损的正是涂层,而指纹也正好毁涂层:新灯丝只能戴干净手套拿,绝不要擦拭发射面,装好后必须用标准漏孔重新校准 —— 换灯丝一定会改变灵敏度。

把检漏仪的品牌、型号,有的话再加上出厂序列号,连同你手上那个件号一起发来,我们下单前先替你核对。上表多数件原厂件和兼容件都有,我们会明确标出哪个是哪个。有些灯丝组件已经彻底停产,只要底座、陶瓷和馈通没损坏,原件通常可以重新焊接新灯丝恢复使用。

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