如何选择氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪对被测部件抽真空，然后将小型磁偏转分析器调至质量数 4。使用氦气是因为它分子小、呈惰性、安全且在空气中含量稀少，因此任何高于本底的信号即为泄漏。检漏仪可达到 10⁻¹² mbar·L/s 数量级——远超压力衰减法或气泡测试所能达到的分辨率。
首先要决定的是测试模式。真空（由外向内）模式向抽空的部件喷氦气，可提供最低的可检漏率；吸枪（由内向外）模式对部件加压并探测外部，对于大型组件速度更快且能精确定位漏点。随后需关注各模式下的最小可检漏率、启动至就绪的时间、最大入口压力和测试口尺寸、前级泵是干式还是油封式，以及校准方式——内置标准漏孔使每日校验成为一键式操作。
典型应用：HVAC 和制冷制造、汽车燃油和电池系统、半导体和真空设备制造、航空航天、医疗器械以及真空系统调试。消耗品——灯丝、离子源部件、标准漏孔和吸枪探头——决定了设备正常运行时间，因此请随仪器一同规划。
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常见问题
氦质谱检漏仪能测到多小的漏率?
真空模式下,状态良好的仪器可分辨到 1x10⁻¹² Pa·m³/s 量级;吸枪模式因为要采环境空气,实际极限要粗几个数量级。标称值只在用标准漏孔校准过、且被检件干净干燥时成立。
该用真空模式还是吸枪模式?
被检件能抽真空、且要测总漏率并要最高灵敏度时用真空模式;被检件充氦加压、需要定位漏点,或者根本没法抽真空时用吸枪模式。很多产线两种都用:真空模式判合格,吸枪找具体位置。
检漏仪多久校准一次?
至少每班开始时用内置或外置标准漏孔校准一次;更换灯丝、清洗离子源或搬运之后要重新校准。质量体系通常还要求标准漏孔本身每年送检,因为它的漏率会随时间和温度漂移。
能供 Pfeiffer/Adixen ASM 和 Leybold/INFICON 检漏仪的配件吗?
可以 —— 离子源灯丝、电子倍增器、分析室部件、标准漏孔、吸枪与滤芯、阀体和电磁阀,覆盖常见的 ASM、ASI、Modul、UL 系列。把仪器型号和料号发来即可;兼容件标注为兼容,原厂件标注为原厂。
抽真空后本底信号为什么一直下不来?
常见原因:氦已溶进橡胶密封件、或上一次测试后残留在被检件里;仪器自身阀块内漏;大量氦冲击后离子源饱和。让系统过夜抽气,再用已知合格件复测;本底仍不下降,就要检修阀块或离子源。