如何选择干式涡旋真空泵
涡旋泵使用一个静止涡旋盘和一个运动涡旋盘；它们之间形成的月牙形腔室在向内移动时缩小，从而将气体压缩至排气口。抽气容积内无油，因此不会有任何物质返流进入真空腔室。沿每个涡旋盘边缘的密封条起密封作用，它们是易损件——使用寿命是一项实际规格，更换密封条属于常规维护，而非维修。
根据抽速和极限真空进行选择，然后考虑泵需要抽除的物质。水蒸气处理能力、气镇和进气过滤决定了密封条是达到额定寿命还是仅能维持其一小部分。检查进气口和排气口法兰尺寸、单相或三相电源、冷却方式、噪声水平和漏率。当泵作为分子泵的前级泵时，其极限压力必须稳定处于分子泵的临界前级压力之下。
典型应用：分析仪器、进样室、手套箱、洁净室和医疗工艺、研发装置，以及任何油污染会损坏样品的场合。备好密封条包和大修包——非计划性的密封条更换是涡旋泵停机最常见的原因。
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常见问题
涡旋泵的密封条(tip seal)是什么,多久换一次?
密封条是涡旋盘边缘的高分子条,靠它在无油状态下密封压缩腔。它是主要磨损件:按型号和工况,通常每 8000–16000 运行小时更换,吸入颗粒会更早。极限真空变差就是典型信号。
干式涡旋泵能给分子泵做前级吗?
可以,而且在必须避免油蒸气返流的场合(分析仪器、表面科学、装载锁)就是标准选择。涡旋泵抽速要与分子泵的前级气体负载匹配;前级选小了,分子泵一直在高前级压力下运行,达不到标称真空。
干式涡旋泵能抽腐蚀性气体吗?
只有防腐型可以。标准型涡旋盘是铝合金、密封件是普通橡胶,卤素和酸会侵蚀它们。化工型用带涂层的涡旋盘和耐化学密封件;即便如此,通常还要配吹扫和排气侧捕集器。
用久了极限真空为什么变差?
首先查密封条磨损,其次是进气滤芯堵塞、进气接头漏气、涡旋组件里进了粉尘。换一套密封条通常能恢复大部分性能;如果没恢复,再查波纹管和轴封,并检查涡旋盘面有没有刮痕。
能供 Edwards nXDS、Agilent IDP、Anest Iwata ISP 的密封条套件吗?
可以 —— 密封条套件、轴承与密封组件、定涡旋盘与动涡旋盘、进排气滤芯,以及 nXDS、XDS、IDP、ISP、DIS 系列的整套大修包。请提供泵型号和序列号,因为有些型号在生产中期改过涡旋型线,版本要对上。