如何选择扩散泵

扩散泵通过加热低蒸气压液体使其沸腾，蒸气沿导管上升并经过倾斜喷嘴向下喷出，形成超音速射流。进入射流的气体分子被推向排气口，并由前级泵抽走。由于没有运动部件，该泵运行安静、维护成本低、对颗粒物有耐受性，且只要维护好泵油和冷却系统，其使用寿命极长。

根据真空室选择抽速和进口直径，然后确定配套细节：前级泵必须始终保持前级管道压力低于扩散泵的临界前级压强，冷却水流量和温度必须符合规范，且泵油——硅油或多苯醚——必须适应工艺及其烘烤温度。正确选择冷阱或挡油板是防止返流进入真空室的关键，但这会损失一部分抽速。

典型应用：真空炉与热处理、金属化与镀膜设备、电子束焊、冷冻干燥以及对耐用性要求高于清洁度的大型真空室。在预算和可靠性比无油环境更重要的场合，扩散泵仍然具有无可比拟的优势。