如何选择低温真空泵

低温泵将气体冷凝在低温表面上。闭循环氦气制冷机将第一级维持在 80 K 附近，用于在辐射屏和百叶窗上冷凝水和碳氢化合物；将第二级维持在 15 K 附近，用于在阵列上冷凝氮气、氧气和氩气，并利用粘附在其上的活性炭吸附氢气、氦气和氖气。没有任何物质被排出腔室，因此对水的抽速极大——这正是高真空工艺腔室所需要的。

需指定每种气体的抽速，而非单一数值：水、氮气、氩气和氢气的抽速差异巨大，您的工艺决定了哪种抽速更为重要。随后需检查容量（泵在再生前可容纳的气体量）、最大吞吐量、切换压力、降温时间以及再生周期——包括频率、时长以及是否可以无人值守运行。压缩机、氦气管路和入口法兰应作为一套进行匹配。

典型应用：溅射和蒸发镀膜机、离子注入机、半导体工艺腔室、电子显微镜和空间模拟。当水蒸气占气体负载的主要部分且腔室频繁循环时，低温泵通常是正确的选择。