选择合适的真空计
没有单一的真空计能覆盖整个真空量程，因此问题始终在于针对哪个数量级选择哪种传感器。电容薄膜规直接测量压力，且与气体种类无关，测量范围从大气压降至约 10⁻⁴ mbar。皮拉尼规和热电偶规通过热损失推算压力，覆盖从大气压到约 10⁻⁴ mbar 的范围，但其读数取决于气体种类。热阴极和冷阴极电离规负责从约 10⁻³ mbar 降至 UHV 的范围，同样也与气体种类有关。
请根据您实际控制的数量级选择传感器，而不是根据数据表上最宽的量程。然后检查工艺气体的气体校正因子、法兰、是否需要可烘烤或耐腐蚀版本、控制系统所需的输出和协议，以及校准周期。复合规——将皮拉尼和冷阴极集成在一个壳体内——是单个接口需要覆盖从大气压到高真空时的实用选择。
典型应用：熔炼炉和涂层机的过程控制、进样室和互锁切换、检漏台以及实验室装置。传感器会发生漂移，灯丝会损坏；为您依赖的真空计准备备件比停机造成的损失更低。
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常见问题
我的压力范围该用哪种真空计?
皮拉尼(热传导)大致覆盖大气到 10⁻¹ Pa;冷阴极或热阴极电离规接手 10⁻¹ Pa 到 10⁻⁸ Pa;电容膜盒和压阻式用于需要与气体种类无关的粗真空段。宽量程复合规把皮拉尼和冷阴极做在同一个探头里。
同一个系统上两个真空计读数不一样,为什么?
热传导规和电离规都与气体种类有关 —— 它们按氮气标定,遇到氦、氩或溶剂蒸气会偏高或偏低若干倍。安装位置也有关:装在细长接管上的规测的是接管而不是腔体。只能拿同类型、同气体、安装正确的规互相比。
真空计多久校准一次?
质量体系通常要求每年一次;工艺会污染传感器时更频繁。皮拉尼灯丝会因附着物漂移,冷阴极会因阳极被溅射镀膜而漂移。如果读数和抽气时间对不上了,先怀疑规而不是泵。
真空计能清洗而不是换新吗?
冷阴极探头是设计成可拆洗的,清洗后精度基本能恢复。皮拉尼灯丝一旦被附着物覆盖,通常直接换新。无论哪种,清洗后都要重新校准 —— 清洗会改变响应。