Как выбрать диффузионный насос
Диффузионный насос испаряет рабочую жидкость с низким давлением паров, направляет пар вверх по паропроводу и выпускает его через наклонные сопла в виде сверхзвуковой струи, направленной вниз. Молекулы газа, попадающие в струю, увлекаются к выходу и откачиваются форвакуумным насосом. В конструкции нет движущихся частей, поэтому насос работает бесшумно, недорог в эксплуатации, устойчив к воздействию твердых частиц и практически вечен при условии надлежащего контроля за состоянием жидкости и охлаждением.
Выберите быстроту действия и входной диаметр для камеры, затем определите вспомогательные параметры: форвакуумный насос должен постоянно поддерживать давление в форвакуумной линии ниже критического выпускного давления диффузионного насоса, расход и температура охлаждающей воды должны соответствовать спецификации, а рабочая жидкость — силикон или полифениловый эфир — должна подходить для процесса и температуры его прогрева. Правильно подобранная охлаждаемая ловушка или отражатель предотвращают обратный поток в камеру, снижая при этом быстроту действия.
Типовые области применения: вакуумные печи и термообработка, установки металлизации и нанесения покрытий, электронно-лучевая сварка, сублимационная сушка и крупные камеры, где надежность важнее чистоты. В тех случаях, когда бюджет и надежность важнее отсутствия масла, диффузионный насос по-прежнему трудно превзойти.
3 моделей в каталоге, со спецификациями и расчётом в течение 24 ч.
Вопросы и ответы
Стоит ли ещё применять диффузионный насос?
Для больших объёмов и высокой производительности в высоком вакууме, если процесс терпит углеводородное или силиконовое масло — да: нет подвижных частей, дешёв на единицу быстроты действия и очень устойчив к нарушениям режима. Там, где важен обратный поток, его вытеснил турбонасос.
Как предотвратить обратный поток масла в камеру?
Установите водоохлаждаемую заслонку или азотную ловушку между насосом и камерой, не открывайте высоковакуумный клапан до выхода насоса на режим и не работайте выше максимального входного давления. Большинство проблем с обратным потоком связано с последовательностью операций, а не с насосом.
Как часто менять рабочую жидкость?
Когда она темнеет или насос перестаёт выходить на паспортное давление. Ресурс жидкости губит прорыв воздуха при рабочей температуре: один случайный напуск на горячем насосе может разложить масло и потребовать полной замены с чисткой сопловой системы.