Как выбрать криогенный вакуумный насос
Крионасос вымораживает газ на холодных поверхностях. Гелиевый рефрижератор замкнутого цикла поддерживает первую ступень при температуре около 80 K, на которой конденсируются вода и углеводороды на тепловом экране и жалюзи, и вторую ступень при температуре около 15 K, на которой конденсируются азот, кислород и аргон на криопанели, а водород, гелий и неон адсорбируются активированным углем, закрепленным на ней. Вещество не удаляется за пределы камеры, поэтому быстрота действия по воде огромна — именно это и требуется для высоковакуумных технологических камер.
Указывайте быстроту действия для каждого газа, а не одно значение: скорости для воды, азота, аргона и водорода различаются в разы, и ваш техпроцесс определяет, какая из них важнее. Затем проверьте емкость (сколько газа насос удерживает до регенерации), максимальный поток, давление перепуска, время захолаживания и цикл регенерации — как часто, как долго и возможна ли работа без участия оператора. Подбирайте компрессор, гелиевые магистрали и входной фланец как единый комплект.
Типовые задачи: установки магнетронного и термического напыления, ионные имплантеры, камеры для полупроводниковых процессов, электронная микроскопия и имитация космического пространства. Крионасосы обычно являются оптимальным решением, когда в газовой нагрузке преобладает водяной пар, а камера подвергается частым циклам откачки.
46 моделей в каталоге, со спецификациями и расчётом в течение 24 ч.
Вопросы и ответы
Что криогенный насос откачивает, а что нет?
Он конденсирует воду и большинство газов на холодных массивах и адсорбирует водород, гелий и неон на угольной панели. Гелий он откачивает не бесконечно — уголь насыщается, — и его нельзя использовать при низком вакууме. Сильнее всего он по воде, поэтому его применяют в напылении и имплантации.
Как часто нужна регенерация криогенного насоса?
Когда накопленный конденсат начинает ограничивать характеристики — практически, когда растёт время откачки или температура первой ступени. Интервал определяется нагрузкой: влажная камера напыления может требовать регенерации раз в неделю, чистая сверхвысоковакуумная система — несколько раз в год.
Какое вспомогательное оборудование требует криогенный насос?
Гелиевый компрессор с линиями подачи и возврата, охлаждающая вода для компрессора, форвакуумный насос для выхода на давление запуска и отсечной клапан. Компрессор сам является объектом обслуживания: замена адсорбера и масла по графику.
Поставляете ли холодные головки, компрессоры и запчасти?
Да — холодные головы, гелиевые компрессоры, адсорберы, комплекты вытеснителей и уплотнений, ремкомплекты двигателей для распространённых серий CTI и Sumitomo, а также наши насосы серии CRYO-P. Присылайте модели насоса и компрессора вместе — важна их совместимость.