VAvat · Цельнометаллический вакуумный клапан

VAvat RA1113-52-B Цельнометаллический вакуумный клапан

Name: VAvat RA1113-52-B Цельнометаллический вакуумный клапан
Brand: VAvat
SKU: vavat-all-metal-valve

Также пишется как: RA111352B

Основные характеристики

МодельRA1113-52-B

БрендVAvat

Соединение / интерфейсCF-F

ПОДБОР ДЕТАЛИ · ЦЕНА ПО ЗАПРОСУ

Цена по запросу опт для B2B

Срок — в предложении

Сравнить

У Taixing есть аналог — те же характеристики, намного дешевле →

Заказ, сроки и упаковка →

Описание

Mainly used in semiconductor processes and applications requiring high vacuum levels, where particles and contaminants in the vacuum system must not be affected by any factors. Therefore, a non-particle-generating valve with excellent sealing performance is required to protect the high-vacuum system. Protect the system and equipment from damage, and ensure the health and safety of equipment in a particle-free environment. Material: Stainless steel; bellows SUS316L. Sealing: Metal seal. Opening diameters: DN60~320, DN16~100 (手动全金属角阀 Manual all-metal angle valve).

Технические данные

Серия	VAvat
Условный проход	DN60~320 · DN16~100 (Manual all-metal angle valve)
Основной материал	Stainless steel
Привод	pneumatic double-acting / pneumatic with solenoid valve / manual
Тип фланца	CF-F
Тип уплотнения	Metal seal
Скорость натекания	1 × 10⁻¹⁰ mbar·L/s (valve body and valve seat)
Диапазон давлений	XUHV to 2 bar
Pressure difference bearable by valve plate	≤ 2 bar
Recommended instantaneous pressure difference for opening	≤ 1 bar (DN16–DN40); ≤ 500 mbar (DN63–DN320, exceeding shortens service life)
Число циклов до первого обслуживания	20,000 cycles (DN16–DN200); 5,000 cycles (DN250–DN320)
Рабочая температура	Valve body ≤ 250 °C (open) / ≤ 200 °C (closed), high-temperature operating time ≥ 24 h; actuator ≤ 200 °C; position feedback device ≤ 80 °C; solenoid valve ≤ 50 °C
Heating and cooling rate	50 °C/h
Материал деталей	Valve body / plate: stainless steel; bellows: SUS316L
Монтажное положение	Drive facing up or down
Давление сжатого воздуха	0.5 MPa – 0.7 MPa
Compressed air connection	G1/8" threaded connection
Параметры электромагнитного клапана	24V DC, 5.4W (not included as standard; please note when placing an order)
Индикация положения	Imported wear-resistant elastic switch; AC ≤ 250 V / DC ≤ 50 V; AC ≤ 2.0 A / DC ≤ 1.2 A
Примеры моделей	VAvat-RA1113-52-B-DN60~320 (pneumatic double-acting) · VAvat-RA1113-52024-B-DN60~320 (pneumatic with solenoid valve) · VAvat-RB3144-52-B-DN16~100 (manual all-metal angle valve)