VAvat Цельнометаллический вакуумный клапан
Основные характеристики
Описание
Mainly used in semiconductor processes and applications requiring high vacuum levels, where particles and contaminants in the vacuum system must not be affected by any factors. Therefore, a non-particle-generating valve with excellent sealing performance is required to protect the high-vacuum system. Protect the system and equipment from damage, and ensure the health and safety of equipment in a particle-free environment. Material: Stainless steel; bellows SUS316L. Sealing: Metal seal. Opening diameters: DN60~320, DN16~100 (手动全金属角阀 Manual all-metal angle valve).
Технические данные
| Series | VAvat |
|---|---|
| Opening diameter / bore | DN60~320 · DN16~100 (Manual all-metal angle valve) |
| Main material | Stainless steel |
| Driver | pneumatic double-acting / pneumatic with solenoid valve / manual |
| Flange type | CF-F |
| Sealing method | Metal seal |
| Leakage rate | 1 × 10⁻¹⁰ mbar·L/s (valve body and valve seat) |
| Pressure range | XUHV to 2 bar |
| Pressure difference bearable by valve plate | ≤ 2 bar |
| Recommended instantaneous pressure difference for opening | ≤ 1 bar (DN16–DN40); ≤ 500 mbar (DN63–DN320, exceeding shortens service life) |
| Recyclable service life before first maintenance | 20,000 cycles (DN16–DN200); 5,000 cycles (DN250–DN320) |
| Operating temperature | Valve body ≤ 250 °C (open) / ≤ 200 °C (closed), high-temperature operating time ≥ 24 h; actuator ≤ 200 °C; position feedback device ≤ 80 °C; solenoid valve ≤ 50 °C |
| Heating and cooling rate | 50 °C/h |
| Component material | Valve body / plate: stainless steel; bellows: SUS316L |
| Installation position | Drive facing up or down |
| Compressed air range | 0.5 MPa – 0.7 MPa |
| Compressed air connection | G1/8" threaded connection |
| Solenoid valve parameters | 24V DC, 5.4W (not included as standard; please note when placing an order) |
| Position feedback | Imported wear-resistant elastic switch; AC ≤ 250 V / DC ≤ 50 V; AC ≤ 2.0 A / DC ≤ 1.2 A |
| Example model numbers | VAvat-RA1113-52-B-DN60~320 (pneumatic double-acting) · VAvat-RA1113-52024-B-DN60~320 (pneumatic with solenoid valve) · VAvat-RB3144-52-B-DN16~100 (manual all-metal angle valve) |
Вопросы и ответы
Какие присоединительные фланцы у RA1113-52-B?
Присоединения RA1113-52-B: Flange type CF-F.
Как получить цену и срок поставки на RA1113-52-B?
Отправьте модель и количество через форму запроса на этой странице или напишите на vacuum@xiamenbest.com. Ответим с ценой и сроком в течение 24 часов, отгружаем по всему миру из Сямыня, Китай.
Нужна подтверждённая комплектация?
Укажите применение, требуемый вакуум и напряжение. Мы подберём насос или деталь и подготовим предложение.
У нас есть аналог — те же характеристики, значительно дешевле
Taixing — производитель вакуумного оборудования с собственным заводом 20 000 m2 и 16-летним опытом. Мы выпускаем Продукция с теми же рабочими характеристиками, что и этот импортный агрегат, по цене напрямую с завода. Пришлите условия процесса (газ, диапазон давления, расход) — подберём модель и вышлем цену.
Смотреть модели Taixing →Похожие товары
Ещё из категории Высоковакуумные клапаны
