Криогенные насосы

Он конденсирует воду и большинство газов на холодных массивах и адсорбирует водород, гелий и неон на угольной панели. Гелий он откачивает не бесконечно — уголь насыщается, — и его нельзя использовать при низком вакууме. Сильнее всего он по воде, поэтому его применяют в напылении и имплантации.

Когда накопленный конденсат начинает ограничивать характеристики — практически, когда растёт время откачки или температура первой ступени. Интервал определяется нагрузкой: влажная камера напыления может требовать регенерации раз в неделю, чистая сверхвысоковакуумная система — несколько раз в год.

Гелиевый компрессор с линиями подачи и возврата, охлаждающая вода для компрессора, форвакуумный насос для выхода на давление запуска и отсечной клапан. Компрессор сам является объектом обслуживания: замена адсорбера и масла по графику.

Да — холодные головы, гелиевые компрессоры, адсорберы, комплекты вытеснителей и уплотнений, ремкомплекты двигателей для распространённых серий CTI и Sumitomo, а также наши насосы серии CRYO-P. Присылайте модели насоса и компрессора вместе — важна их совместимость.