Вакуумметры

Тепловые (Пирани) охватывают примерно от атмосферы до 10⁻¹ Па; ионизационные с холодным или горячим катодом работают от ~10⁻¹ Па до 10⁻⁸ Па; ёмкостные и пьезорезистивные — для низкого вакуума, где важна независимость от рода газа. Широкодиапазонные датчики объединяют Пирани и холодный катод в одном корпусе.

Тепловые и ионизационные датчики зависят от рода газа: они калиброваны по азоту, а гелий, аргон или пары растворителей дают завышенные или заниженные показания в разы. Важно и место установки: датчик на длинном узком патрубке измеряет патрубок, а не камеру. Сравнивать можно только однотипные датчики в одном газе при правильном монтаже.

Обычное требование систем качества — раз в год; чаще, если процесс загрязняет датчик. Нити Пирани дрейфуют по мере загрязнения, холодные катоды — по мере напыления на анод. Если показания перестали согласовываться со временем откачки, сначала подозревайте датчик, а не насос.

Холодные катоды рассчитаны на разборку и чистку, после чего точность в основном восстанавливается. Датчики Пирани с загрязнённой нитью обычно заменяют. В любом случае после чистки требуется повторная калибровка: чистка меняет характеристику.