VAvat · Высоковакуумный передаточный затвор L-типа

VAvat L1113-61-B Высоковакуумный передаточный затвор L-типа

Name: VAvat L1113-61-B Высоковакуумный передаточный затвор L-типа
Brand: VAvat
SKU: vavat-high-vacuum-l-type-transfer-valve

Также пишется как: L111361B

Основные характеристики

МодельL1113-61-B

БрендVAvat

ПОДБОР ДЕТАЛИ · ЦЕНА ПО ЗАПРОСУ

Цена по запросу опт для B2B

Срок — в предложении

Сравнить

У Taixing есть аналог — те же характеристики, намного дешевле →

Заказ, сроки и упаковка →

Описание

Widely used in the semiconductor manufacturing industry for the isolation of process chambers and other demanding application industries. It is particularly suitable for corrosive processes such as etching or CVD. No particle generation, long cyclic service life (customization available upon request) Material: Aviation aluminum alloy or stainless steel (customizable upon request). Sealing: Fluororubber seal + bellows seal. Opening diameters: DN336×50, DN480×50, DN496×56, DN500×80, DN800×100.

Технические данные

Серия	VAvat
Условный проход	DN336×50 · DN480×50 · DN496×56 · DN500×80 · DN800×100
Основной материал	Aluminum alloy
Привод	Pneumatic, double-acting
Тип уплотнения	Fluororubber seal + bellows seal
Скорость натекания (уплотнение FKM, алюминий)	< 1 × 10⁻⁹ mbar·L/s
Скорость натекания (metal seal, stainless steel only)	< 5 × 10⁻¹⁰ mbar·L/s
Диапазон давлений	1 × 10⁻⁹ mbar to 1 bar (aluminum, raw/nickel-plated); 5 × 10⁻¹⁰ mbar to 1 bar (stainless steel, metal-sealed)
Перепад давления на клапане	≤ 1 bar
Перепад давления при открытии	≤ 30 mbar (DN336×50–DN500×80); ≤ 10 mbar (DN800×100)
Интервал обслуживания	≥ 1,000,000 cycles (DN336×50–DN496×56); ≥ 800,000 cycles (DN500×80–DN800×100)
Рабочая температура	Valve body ≤ 120 °C; valve plate ≤ 120 °C; drive components ≤ 80 °C
Сжатый воздух	0.5 MPa – 0.7 MPa
Индикация положения	DC ≤ 24 V, DC ≤ 100 mA
Примеры моделей	VAvat-L1113-61-B-DN336×50 · VAvat-L1113-61-B-DN480×50 · VAvat-L1113-61-B-DN496×56 · VAvat-L1113-61-B-DN500×80 · VAvat-L1113-61-B-DN800×100