VAvat · Высоковакуумный дисковый затвор

VAvat E2113-11 Высоковакуумный дисковый затвор

Name: VAvat E2113-11 Высоковакуумный дисковый затвор
Brand: VAvat
SKU: vavat-high-vacuum-butterfly-valve

Также пишется как: E211311

Основные характеристики

МодельE2113-11

БрендVAvat

Соединение / интерфейсISO-KF · ISO-F · CF-F · ASA-LP · JIS

ПОДБОР ДЕТАЛИ · ЦЕНА ПО ЗАПРОСУ

Цена по запросу опт для B2B

Срок — в предложении

Сравнить

У Taixing есть аналог — те же характеристики, намного дешевле →

Заказ, сроки и упаковка →

Описание

This valve is an ideal solution for precise control in CVD and ALD processes. The valve plate acts as a throttling or isolating element, adjusting the conductance characteristics by changing the valve opening. The integrated pressure controller of the control valve calculates the required valve plate position to achieve the set pressure as quickly as possible. Flow regulation can be achieved via electric control, while on/off control can be realized via pneumatic actuation. Material: Aluminum alloy (materials optional). Sealing: Nitrile rubber (NBR), fluororubber (FKM), can be customized according to process requirements. Opening diameters: DN25~50 (电动 Electric), DN60~250 (电动 Electric), DN25~50 (气动 Pneumatic), DN60~320 (气动 Pneumatic).

Технические данные

Серия	VAvat
Условный проход	DN25~50 (Electric) · DN60~250 (Electric) · DN25~50 (Pneumatic) · DN60~320 (Pneumatic)
Основной материал	Aluminum alloy (materials optional)
Привод	electric / pneumatic Electric / Pneumatic (solenoid valve available)
Тип фланца	ISO-KF · ISO-F · CF-F · ASA-LP · JIS
Тип уплотнения	Nitrile rubber (NBR), fluororubber (FKM), can be customized according to process requirements
Скорость натекания	1 × 10⁻⁹ mbar·L/s (valve body, valve seat)
Диапазон давлений	1 × 10⁻⁸ mbar – 1.2 bar
Recyclable times before first maintenance (pressure controlled)	2,000,000 cycles
Recyclable times before first maintenance (pneumatic)	100,000 cycles
Рабочая температура	Valve body ≤ 120 °C; drive components ≤ 50 °C
Время открытия / закрытия	≤ 1 s
Материал деталей	Valve body SUS304 / aluminum alloy; shaft SUS304/316L
Монтажное положение	Any orientation
Max. differential pressure on valve plate	1000 mbar (DN25) → 150 mbar (DN200)
Max. controllable conductance molecular flow	22 L/s (DN25) → 7800 L/s (DN200)
Min. controllable conductance molecular flow	0.15 L/s (DN25) → 2.8 L/s (DN200)
Position mode opening / closing time	0.09 s (DN25) → 0.29 s (DN200)
Сжатый воздух	0.5 MPa – 0.7 MPa
Solenoid valve	24V DC / 2W (optional)
Примеры моделей	VAvat-E2113-11-DN25~50 · VAvat-E2113-31-DN60~250 · VAvat-E1113-11-DN25~50 · VAvat-E1113-31-DN60~250