VAvat · Высоковакуумный передаточный затвор T-типа

VAvat T1113-61-B Высоковакуумный передаточный затвор T-типа

Name: VAvat T1113-61-B Высоковакуумный передаточный затвор T-типа
Brand: VAvat
SKU: vavat-high-vacuum-t-type-transfer-valve

Также пишется как: T111361B

Основные характеристики

МодельT1113-61-B

БрендVAvat

ПОДБОР ДЕТАЛИ · ЦЕНА ПО ЗАПРОСУ

Цена по запросу опт для B2B

Срок — в предложении

Сравнить

У Taixing есть аналог — те же характеристики, намного дешевле →

Заказ, сроки и упаковка →

Описание

Isolation for transfer and process chambers in 200/300/450 mm wafer semiconductor systems, and corrosive processes such as etching and CVD. Pneumatic, pneumatic with self-locking Material: Aviation aluminum alloy. Sealing: Rubber O-ring seal + bellows seal. Opening diameters: DN236×46, DN336×50, DN496×56.

Технические данные

Серия	VAvat
Условный проход	DN236×46 · DN336×50 · DN496×56
Основной материал	Aluminum alloy
Привод	Pneumatic, double-acting
Тип уплотнения	Rubber O-ring seal + bellows seal
Скорость натекания (уплотнение FKM, алюминий)	< 1 × 10⁻⁹ mbar·L/s
Диапазон давлений	1 × 10⁻⁹ mbar to 1 bar (aluminum, raw/nickel-plated); 1 × 10⁻⁶ mbar to 1 bar (hard anodized)
Перепад давления на клапане	≤ 1 bar
Перепад давления при открытии	≤ 30 mbar
Интервал обслуживания	≥ 800,000 cycles
Рабочая температура	≤ 80 °C / ≤ 150 °C configurations available
Сжатый воздух	Thread G1/8", for 6 mm OD air pipe, 0.5 MPa – 0.7 MPa
Индикация положения	DC ≤ 24 V, DC ≤ 100 mA
Примеры моделей	VAvat-T1113-61-B-DN236×46 · VAvat-T1113-61-B-DN336×50 · VAvat-T1113-61-B-DN496×56