
VAvat · Высоковакуумный передаточный затвор S-типа
VAvat S1713-61-B Высоковакуумный передаточный затвор S-типа
Также пишется как: S171361B
Основные характеристики
МодельS1713-61-B
БрендVAvat
ПОДБОР ДЕТАЛИ · ЦЕНА ПО ЗАПРОСУ
У Taixing есть аналог — те же характеристики, намного дешевле →
Цена по запросу опт для B2B
Срок — в предложенииОписание
Widely used in semiconductor manufacturing systems, process chamber isolation, and other demanding application industries. No particle generation, long cyclic service life (customization available upon request) Material: Aviation aluminum alloy or SUS316L (customizable upon request). Sealing: Rubber ring seal + bellows seal. Opening diameters: DN222×32, DN236×46, DN336×50, DN496×56, DN500×100.
Технические данные
| Серия | VAvat |
|---|---|
| Условный проход | DN222×32 · DN236×46 · DN336×50 · DN496×56 · DN500×100 |
| Основной материал | Aluminum alloy |
| Привод | Pneumatic, double-acting |
| Тип уплотнения | Rubber ring seal + bellows seal |
| Скорость натекания (уплотнение FKM, алюминий) | < 1 × 10⁻⁹ mbar·L/s |
| Скорость натекания (metal seal, stainless steel only) | < 5 × 10⁻¹⁰ mbar·L/s |
| Диапазон давлений | 1 × 10⁻⁹ mbar to 1 bar (aluminum); 5 × 10⁻¹⁰ mbar to 1 bar (stainless steel, metal-sealed) |
| Перепад давления на клапане | ≤ 1 bar |
| Перепад давления при открытии | ≤ 30 mbar |
| Интервал обслуживания | ≥ 1,000,000 cycles (DN336×50–DN496×56); ≥ 800,000 cycles (DN500×100) |
| Рабочая температура | ≤ 80 °C / ≤ 150 °C / ≤ 200 °C configurations available |
| Сжатый воздух | Thread G1/8", for 6 mm OD air pipe, 0.5 MPa – 0.7 MPa |
| Индикация положения | DC ≤ 24 V, DC ≤ 100 mA |
| Примеры моделей | VAvat-S1713-61-B-DN222×32 · VAvat-S1713-61-B-DN236×46 · VAvat-S1713-61-B-DN336×50 · VAvat-S1713-61-B-DN496×56 · VAvat-S1713-61-B-DN500×100 |
ЕСТЬ АНАЛОГ TAIXING




