Ионные насосы

Это насос сверхвысокого вакуума: запуск примерно с 1x10⁻³ Па, оптимальная работа ниже 1x10⁻⁵ Па, в прогретой системе — до 10⁻⁸ Па и ниже. С низкого вакуума он не запускается: систему сначала должен откачать турбонасос или сорбционный насос.

Диодные насосы дают большую быстроту действия по активным газам и проще по конструкции. Триодные существенно лучше откачивают инертные газы, в частности аргон, и стабильнее при повышенном давлении — ценой части быстроты. Для систем с аргоном (напыление, ионная имплантация) обычно выбирают триодные.

Ресурс измеряется количеством откачанного газа, а не календарным временем: титановые катоды расходуются. В чистой прогретой системе на уровне 10⁻⁸ Па элемент служит много лет; тот же насос при многократной откачке с 10⁻³ Па израсходуется значительно быстрее.

Чтобы выйти на паспортное предельное давление — да. Прогрев удаляет воду с внутренних поверхностей; без него газоотделение доминирует и система остаётся на порядки выше паспорта. Соблюдайте максимальную температуру прогрева для модели и не перегревайте магниты.

Для откачки с атмосферы — нет. Нужны предварительная и высоковакуумная ступени, чтобы выйти на давление запуска, и отсечной клапан, чтобы насос не соприкасался с атмосферой. В сверхвысоком вакууме он держит систему сам, без подвижных частей и вибрации — поэтому его применяют на каналах ускорителей и в приборах анализа поверхности.