Выбор подходящего вакуумметра
Ни один вакуумметр не охватывает весь диапазон вакуума, поэтому вопрос всегда заключается в выборе датчика для конкретной декады. Емкостные манометры измеряют давление напрямую и не зависят от рода газа в диапазоне от атмосферного до примерно 10⁻⁴ mbar. Вакуумметры Пирани и термопарные датчики определяют давление по теплопотерям и работают от атмосферного давления до примерно 10⁻⁴ mbar, но их показания зависят от газа. Ионизационные вакуумметры с горячим и холодным катодом работают в диапазоне от 10⁻³ mbar до UHV и также зависят от рода газа.
Выбирайте датчик для той декады, в которой вы фактически работаете, а не по самому широкому диапазону в техническом описании. Затем проверьте поправочные коэффициенты для вашего технологического газа, тип фланца, необходимость прогреваемого или коррозионностойкого исполнения, выходной сигнал и протокол системы управления, а также интервал калибровки. Комбинированные вакуумметры — Пирани и холодный катод в одном корпусе — являются практичным выбором, когда один порт должен обеспечивать измерения от атмосферного до высокого вакуума.
Типовые задачи: управление процессами в печах и установках нанесения покрытий, переключение шлюзов и блокировок, стенды для испытаний на герметичность и лабораторные установки. Датчики подвержены дрейфу, а нити накала перегорают; наличие запасного вакуумметра обходится дешевле, чем простой оборудования.
317 моделей в каталоге, со спецификациями и расчётом в течение 24 ч.
Вопросы и ответы
Какой тип вакуумметра подходит для моего диапазона?
Тепловые (Пирани) охватывают примерно от атмосферы до 10⁻¹ Па; ионизационные с холодным или горячим катодом работают от ~10⁻¹ Па до 10⁻⁸ Па; ёмкостные и пьезорезистивные — для низкого вакуума, где важна независимость от рода газа. Широкодиапазонные датчики объединяют Пирани и холодный катод в одном корпусе.
Почему два датчика на одной системе показывают разное?
Тепловые и ионизационные датчики зависят от рода газа: они калиброваны по азоту, а гелий, аргон или пары растворителей дают завышенные или заниженные показания в разы. Важно и место установки: датчик на длинном узком патрубке измеряет патрубок, а не камеру. Сравнивать можно только однотипные датчики в одном газе при правильном монтаже.
Как часто калибровать вакуумметры?
Обычное требование систем качества — раз в год; чаще, если процесс загрязняет датчик. Нити Пирани дрейфуют по мере загрязнения, холодные катоды — по мере напыления на анод. Если показания перестали согласовываться со временем откачки, сначала подозревайте датчик, а не насос.
Можно ли чистить датчик вместо замены?
Холодные катоды рассчитаны на разборку и чистку, после чего точность в основном восстанавливается. Датчики Пирани с загрязнённой нитью обычно заменяют. В любом случае после чистки требуется повторная калибровка: чистка меняет характеристику.