Как выбрать турбомолекулярный насос
Турбомолекулярный насос представляет собой пакет наклонных лопаток ротора и статора, вращающихся со скоростью в десятки тысяч оборотов в минуту. При превышении окружной скорости кромки ротора лопатки придают молекулам газа преимущественное направление, поэтому насос работает только в молекулярном режиме — ему всегда требуется форвакуумный насос для предварительной откачки форвакуумной линии. Степень сжатия сильно зависит от газа: она огромна для азота и значительно ниже для водорода и гелия, поэтому в спектрах остаточных газов в камере с турбомолекулярной откачкой преобладает водород.
Необходимо согласовать четыре параметра: быстроту действия по нужному газу, входной фланец (CF для прогреваемого СВВ, ISO-K для высокого вакуума), тип подшипников и форвакуумный насос. Гибридные керамические подшипники с консистентной смазкой недороги и имеют ограничения по ориентации; подшипники на магнитном подвесе бесконтактны, безвибрационны, не требуют обслуживания и допускают установку под любым углом — они стоят своей переплаты для аналитических приборов и оборудования с длительным временем безотказной работы. Если процесс связан с частицами или агрессивными средами, уточните наличие портов продувки и роторов с защитным покрытием.
Типовые задачи: масс-спектрометрия и электронная микроскопия, нанесение тонких пленок и напыление, технологическое оборудование для полупроводниковой промышленности, течеискание, камеры имитации космоса и ускорителей. Повреждения почти всегда носят механический характер — внезапный напуск атмосферы на полных оборотах, попадание посторонних частиц или эксплуатация подшипников сверх межсервисного интервала — поэтому клапан напуска и график обслуживания важны так же, как и сам насос.
421 моделей в каталоге, со спецификациями и расчётом в течение 24 ч.
Вопросы и ответы
Какой форвакуумный насос нужен турбомолекулярному насосу?
Турбонасос не запускается от атмосферы. Форвакуумный насос должен вывести форлинию в диапазон запуска турбонасоса, обычно ниже 1 мбар. Дешевле всего маслозаполненный пластинчато-роторный насос; сухой спиральный или мембранный применяют там, где обратный поток углеводородов недопустим.
Смазка подшипников: жировая или масляная — что выбрать?
Насосы с жировой смазкой монтируются в любом положении и не требуют контроля уровня масла — удобно для мобильных и разноориентированных установок. Масляная смазка обычно даёт больший газовый поток и больший ресурс подшипников, но ограничивает положение монтажа. Магнитный подвес снимает вопрос подшипников, но дороже.
Почему турбонасос не выходит на паспортное предельное давление?
По вероятности: слишком высокое давление в форлинии (изношенный или недостаточный форнасос), реальная течь в камере, газоотделение поверхностей без прогрева, повреждённое уплотнение входного фланца. Сначала измерьте давление в форлинии — это быстрее всего и самая частая причина.
Можно ли турбонасосом откачивать коррозионные технологические газы?
Только в коррозионно-стойком исполнении с продувкой. У стандартных насосов алюминиевые роторы, которые разрушаются галогенными средами, а смазка подшипников деградирует. На линиях травления и CVD применяют насосы с защитными покрытиями, портами продувки и отсечным клапаном перед насосом.
Каков ресурс подшипников турбонасоса?
Для насосов на механических подшипниках обычно указывают 25000–40000 часов до обслуживания подшипников — при чистой работе, штатном форвакууме и без частых резких напусков. Ресурс сокращают именно частые напуски на полных оборотах и попадание частиц.