Taixing · SIP020UT Triode Sputter Ion Pump
SIP020UT Triode Sputter Ion Pump 离子泵
关键规格
型号SIP020UT
品牌Taixing
抽速21
功率120
配件匹配 · 询价确认
价格询盘 支持B2B批量
交期随报价确认产品描述
SIP020UT — SIP020UT Triode Sputter Ion Pump. 制造商:Taixing Electromechanical (Xiamen)。 Key specifications — N₂ regenerated pumping speed (L/s) at 2×10⁻⁵ Pa: 21; N₂ saturated pumping speed (L/s) at 2×10⁻⁵ Pa: 18; Ar saturated pumping speed (L/s) at 2×10⁻⁵ Pa: 13; Ultimate pressure (Pa): ≤5×10⁻⁸; Recommended start pressure (Pa): ≤1×10⁻³.
技术参数
| 氮气（N₂）再生抽速（L / S）at 2×10⁻⁵Pa | 21 |
|---|---|
| 氮气（N₂）饱和抽速（L / S）at 2×10⁻⁵Pa | 18 |
| 氩气（Ar）饱和抽速（L / S）at 2×10⁻⁵Pa | 13 |
| 极限压强（Pa） | ≤5×10⁻⁸ |
| 建议启动压强（Pa） | ≤1×10⁻³ |
| 建议烘烤启动压强（Pa） | ≤1×10⁻⁴ |
| 氮气（N₂）下使用寿命（h）at 1×10⁻⁵Pa | 80000 |
| 最大工作电压（kV） | ≤-7 (±10%) |
| 保护电流（mA） | 20 |
| 烘烤温度（℃） | ≤300 |
| 内置烘烤功率（W） | 120 |
| 入口法兰 | CF40 |
| 外形尺寸（mm）（L×W×H） | 166×121.5×216.2 |
| 重量（Kg） | 7.5 |
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