工业设备
Agilent · L9670304
Agilent L9670304 AX-65 diffusion pump, NW50, with standard cold cap 离子泵
其它写法: AX-65
关键规格
型号L9670304
品牌Agilent
抽速65 l/sec
功率200/250 watts
接口 / 连接NW50
$2,843 参考价
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产品描述
L9670304 — AX-65 diffusion pump, NW50, with standard cold cap, 220 V, 200 W. Key specifications — Outlet connection: NW16; Pumping speed, air: 65 l/sec; Pumping speed, He / H₂: 90 l/s; Max. throughput within operating range: 0.19 T-l/s; Max. throughput at 0.01 Torr: 0.30 T-l/s.
技术参数
| 进气口连接 | NW50 |
|---|---|
| 排气口连接 | NW16 |
| 电源电压 | 220 V |
| 厂商型号名 | AX-65 |
| 抽速（空气） | 65 l/sec |
| 抽速（氦、氢） | 90 l/s |
| 最大流量（工作范围内） | 0.19 T-l/s |
| 最大流量（0.01 Torr 时） | 0.30 T-l/s |
| 压缩比（空气） | 4 x 10⁷ |
| 压缩比（He） | 2 x 10⁶ |
| 工作压力范围 | 3 x 10⁻³ ~ <5 x 10⁻⁸ Torr |
| 最大前级压力（空载） | 0.75 Torr |
| 最大前级压力（满载） | 0.60 Torr |
| 反流率（带冷帽） | <2 x 10⁻⁴ mg/cm²/min |
| 反流率（带挡板） | <2 x 10⁻⁵ mg/cm²/min |
| 推荐前级泵抽速 | ≥1.5 cfm |
| 预热时间 | 7 minutes |
| 冷却时间 | 10 minutes |
| 泵液充注量 | 30 cc |
| 电源 | 1 ph, 50/60 Hz, 90/115/165/220 VAC |
| 泵功率 | 200/250 watts |
| 风冷空气流量 | 30 cfm |
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