Mibay · FF-160/620E Turbo Molecular Pump for High-Performance Vacuum Applications
Mibay FF-160 /620E Turbo Molecular Pump for High-Performance Vacuum Applications
关键规格
型号FF-160
品牌Mibay
抽速N₂: 600
极限真空CF: 6×10⁻⁸ Pa, ISO-K: 6×10⁻⁷ Pa
接口 / 连接DN150 CF/ISO-K
配件匹配 · 询价确认
价格询盘 支持B2B批量
交期随报价确认产品描述
The FF-160/620E Turbo Molecular Pump from KYKY delivers a 600 L/s pumping speed with oil lubrication, ideal for PVD, CVD, and semiconductor applications. Its compact design and high durability ensure reliable performance.
技术参数
| 规格 | Value |
|---|---|
| 产品类型 | Turbo Molecular Pump |
| 法兰 (进口) | DN150 CF/ISO-K |
| 法兰 (出口) | DN40 KF |
| 抽速 (L/s) | N₂: 600 |
| 气体通量 (sccm) | N₂: 1200, He: 880, H₂: 700, Ar: 450 |
| 压缩比 | N₂: 10⁹, He: 10⁵, H₂: 10⁴, Ar: 10⁹ |
| 最大连续前级压力 | 240 Pa |
| Max. Fore-vacuum Pressure | N₂: 350 Pa |
| 极限压力 | CF: 6×10⁻⁸ Pa, ISO-K: 6×10⁻⁷ Pa |
| 转速 | 36,000 rpm |
| 启动时间 | ≤9 minutes |
| 冷却方式 | Water (standard, air optional) |
| 冷却水耗量 | ≥1 L/min |
| 冷却水温度 | ≤25°C |
| 电源连接 | 220±22 V AC, 50Hz |
| 最大功耗 | ≤500 W |
| 控制器型号 | TCDP-II (with 2.5m cable) |
| 外形尺寸 (L×W×H) | Not specified (compact design) |
| 重量 | Not specified |
| 工作温度范围 | 5–40°C |
| 最大湿度 | 80% |
同系列更多
更多来自 涡轮分子泵
