Mibay Турбомолекулярный насос FF-160/620E для высокопроизводительных вакуумных применений Турбомолекулярный насос /620E для высокопроизводительных вакуумных применений
Основные характеристики
Описание
## Турбомолекулярный насос FF-160/620E для высокопроизводительных вакуумных систем Турбомолекулярный насос FF-160/620E от KYKY обеспечивает скорость откачки 600 L/s с масляной смазкой, идеально подходит для PVD, CVD и производства полупроводников. Его компактный дизайн и высокая долговечность обеспечивают надежную работу. Запросить сейчас Категории продуктов - Сухой вакуумный насос, сухие спиральные насосы - Сухие винтовые насосы - Насосы Рутса - Кулачковый вакуумный насос - Винтовой вакуумный насос - Масляный вакуумный насос, двухступенчатые пластинчато-роторные насосы - Одноступенчатые пластинчато-роторные насосы - Безмасляный спиральный вакуумный насос - Масляный диффузионный насос - Гелиевый течеискатель, гелиевый масс-спектрометрический течеискатель - Аксессуары для течеискателей - Запасные части для ремонта течеискателей - Масс-спектрометр - Оборудование для обнаружения вакуумных утечек - Вакуумметр - Вакуумная насосная система, турбомолекулярный вакуумный насос - Вакуумные системы по индивидуальному заказу - Масло для вакуумных насосов - Вакуумные аксессуары, совместимые детали для молекулярных насосов, нестандартные
Технические данные
| Спецификация | Value |
|---|---|
| Тип изделия | Turbo Molecular Pump |
| Фланец (вход) | DN150 CF/ISO-K |
| Фланец (выход) | DN40 KF |
| Быстрота действия (л/с) | N₂: 600 |
| Пропускная способность по газу (sccm) | N₂: 1200, He: 880, H₂: 700, Ar: 450 |
| Степень сжатия | N₂: 10⁹, He: 10⁵, H₂: 10⁴, Ar: 10⁹ |
| Макс. длительное форвакуумное давление | 240 Pa |
| Max. Fore-vacuum Pressure | N₂: 350 Pa |
| Предельное давление | CF: 6×10⁻⁸ Pa, ISO-K: 6×10⁻⁷ Pa |
| Частота вращения | 36,000 rpm |
| Время разгона | ≤9 minutes |
| Охлаждение | Water (standard, air optional) |
| Расход охлаждающей воды | ≥1 L/min |
| Температура охлаждающей воды | ≤25°C |
| Подключение питания | 220±22 V AC, 50Hz |
| Макс. потребляемая мощность | ≤500 W |
| Модель контроллера | TCDP-II (with 2.5m cable) |
| Габаритные размеры (Д×Ш×В) | Not specified (compact design) |
| Масса | Not specified |
| Диапазон рабочих температур | 5–40°C |
| Макс. влажность | 80% |
Другие модели серии
Ещё из категории Турбомолекулярные насосы
