Mibay · F-400/4500 Turbo Molecular Pump for High-Vacuum Industrial Applications
Mibay F-400/4500 Turbo Molecular Pump for High-Vacuum Industrial Applications
关键规格
型号F-400/4500
品牌Mibay
抽速N2: 4500, He: 3200, H2: 2000, Ar: 4200
极限真空≤2×10⁻⁶ Pa
接口 / 连接DN400 ISO-K
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The KYKY F-400/4500 Turbo Molecular Pump delivers a 4500 L/s pumping speed for N2, with oil lubrication and low-vibration design. Ideal for PVD, CVD, and semiconductor manufacturing.
技术参数
| 规格 | Value |
|---|---|
| 产品类型 | Oil-lubricated Turbo Molecular Pump |
| 进气法兰 | DN400 ISO-K |
| 出气法兰 | DN100 KF |
| 抽速 (L/s) | N2: 4500, He: 3200, H2: 2000, Ar: 4200 |
| 气体通量 (sccm) | N2: 5500, He: 4000, H2: 3200, Ar: 2100 |
| 压缩比 | N2: 5×10⁷, He: 10³, H2: 5×10², Ar: 5×10⁷ |
| 极限压力 | ≤2×10⁻⁶ Pa |
| 最大连续前级压力 | 100 Pa (N2) |
| Max. Fore-vacuum Pressure | 300 Pa (N2) |
| 转速 | 15,300 rpm |
| 启动时间 | ≤10 minutes |
| 冷却方式 | Water (standard) |
| 冷却水耗量 | ≥1 L/min |
| 冷却水温度 | ≤25°C |
| 电源 | DC24V / AC220V |
| 最大功耗 | ≤1100 W |
| 控制器型号 | FD-III |
| 重量 | 118 kg |
| 工作温度范围 | 5–40°C |
| 最大湿度 | 80% |
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