Mibay Турбомолекулярный насос F-400/4500 для высоковакуумных промышленных применений Турбомолекулярный насос для высоковакуумных промышленных применений
Основные характеристики
Описание
## Турбомолекулярный насос F-400/4500 для высоковакуумных промышленных применений Турбомолекулярный насос KYKY F-400/4500 обеспечивает скорость откачки 4500 L/s по азоту (N2), имеет масляную смазку и низковибрационную конструкцию. Идеально подходит для процессов PVD, CVD и производства полупроводников. Запросить сейчас Категории продукции - Сухой вакуумный насос, сухие спиральные насосы - Сухие винтовые насосы - Насосы Рутса - Кулачковый вакуумный насос - Винтовой вакуумный насос - Масляный вакуумный насос, двухступенчатые пластинчато-роторные насосы - Одноступенчатые пластинчато-роторные насосы - Безмасляный спиральный вакуумный насос - Масляный диффузионный насос - Гелиевый течеискатель, гелиевый масс-спектрометрический течеискатель - Аксессуары для течеискателей - Ремонтные детали для течеискателей - Масс-спектрометр - Оборудование для вакуумного течеискания - Вакуумметр - Вакуумная насосная система, турбомолекулярный вакуумный насос - Вакуумные системы под заказ - Масло для вакуумных насосов - Вакуумные аксессуары, совместимые детали для молекулярных насосов, нестандартные запчасти для обслуживания - Вакуумный насос m
Технические данные
| Спецификация | Value |
|---|---|
| Тип изделия | Oil-lubricated Turbo Molecular Pump |
| Входной фланец | DN400 ISO-K |
| Выходной фланец | DN100 KF |
| Быстрота действия (л/с) | N2: 4500, He: 3200, H2: 2000, Ar: 4200 |
| Пропускная способность по газу (sccm) | N2: 5500, He: 4000, H2: 3200, Ar: 2100 |
| Степень сжатия | N2: 5×10⁷, He: 10³, H2: 5×10², Ar: 5×10⁷ |
| Предельное давление | ≤2×10⁻⁶ Pa |
| Макс. длительное форвакуумное давление | 100 Pa (N2) |
| Max. Fore-vacuum Pressure | 300 Pa (N2) |
| Частота вращения | 15,300 rpm |
| Время разгона | ≤10 minutes |
| Охлаждение | Water (standard) |
| Расход охлаждающей воды | ≥1 L/min |
| Температура охлаждающей воды | ≤25°C |
| Электропитание | DC24V / AC220V |
| Макс. потребляемая мощность | ≤1100 W |
| Модель контроллера | FD-III |
| Масса | 118 kg |
| Диапазон рабочих температур | 5–40°C |
| Макс. влажность | 80% |
Другие модели серии
Ещё из категории Турбомолекулярные насосы
Оборуд.Срок — в предложении