Various 901P Loadlock Vacuum Pressure Sensor

产品描述

901 Plus（901P）Loadlock传感器（LLT）专为LOADLOCK环境而设计，结合了压电和Micro-Pirani™真空传感器技术。 与传统的热导率计相比，组合输出提供了更高的精度、稳定性、可重复性和更快的响应时间。 绝对压力测量范围为1000至10-5Torr 单个传感器具有3个传感器功能，可实现宽测量范围 模拟、RS232、RS485和EtherCAT®版本 可选的集成触摸屏显示器可用于本地压力指示 快速、准确和可重复的压力测量缩短了工艺周期时间 三个可选设定点，响应时间快，可实现可靠的过程控制 备注：供方保证提供 原厂全新正品，不提供现场技术服务；购买前请看清备注并谨慎做决定