901P Loadlock Vacuum Pressure Sensor Вакуумный датчик давления 901P для загрузочной камеры

Описание

Преобразователь шлюзовой камеры (LLT) 901 Plus (901P) специально разработан для условий шлюзовых камер, сочетая в себе технологии пьезодатчика и вакуумного датчика Micro-Pirani™. Комбинированный выход обеспечивает более высокую точность, стабильность, повторяемость и меньшее время отклика по сравнению с традиционными теплопроводными манометрами. Диапазон измерения абсолютного давления: от 1000 до 10-5 Torr. Один датчик обеспечивает функциональность трех датчиков для широкого диапазона измерений. Доступен в версиях Analog, RS232, RS485 и EtherCAT®. Опциональный встроенный сенсорный дисплей для локальной индикации давления. Быстрые, точные и повторяемые измерения сокращают время цикла процесса. Три дополнительные уставки с малым временем отклика для надежного управления процессом. Примечание: ***Поставщик гарантирует оригинальную новую подлинную продукцию. Техническое обслуживание на объекте не предоставляется. Пожалуйста, внимательно ознакомьтесь со спецификациями перед