KYKY · KYKY 中科科仪 CXF-320/3001 磁悬浮涡轮分子泵
KYKY CXF-320/3001 中科科仪 磁悬浮涡轮分子泵
关键规格
型号CXF-320/3001
品牌KYKY
抽速2950 L/s
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太星有对应替代型号 — 性能相当,价格低得多 →
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KYKY 中科科仪 CXF-320/3001 磁悬浮涡轮分子泵,进气口法兰 DN320 ISO-F。氮气抽速 2950 L/s,氮气压缩比 >1×10⁸,极限压强 1×10⁻⁷ Pa（橡胶密封）。水冷,适配电源 CXFD-1601。
技术参数
| 厂商型号名 | CXF-320/3001 |
|---|---|
| 进气口法兰 | DN320 ISO-F |
| 排气口法兰 | KF40 |
| 抽速（N₂） | 2950 L/s |
| 抽速（Ar） | 2750 L/s |
| 抽速（He） | 2300 L/s |
| 抽速（H₂） | 1100 L/s |
| 压缩比（N₂） | >1×10⁸ |
| 压缩比（Ar） | >1×10⁸ |
| 压缩比（He） | >1×10⁴ |
| 压缩比（H₂） | >1×10³ |
| 极限压强 | 1×10⁻⁷ Pa（橡胶密封） |
| 最大瞬时进气流量 | 2100 sccm |
| 启动时间 | ≤9 min |
| 停机时间 | ≤12 min |
| 冷却方式 | 水冷 |
| 冷却水流量 | 3 L/min |
| 冷却水温度 | 20±5 ℃ |
| 电源电压 | 220 V ±10%, 50 Hz / 110 V ±10%, 60 Hz |
| 控制器型号 | CXFD-1601 |
| 推荐前级泵抽速 | ≥30 L/s |
| 重量 | 76 kg |
太星有对应替代型号
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