Mibay ECM Series Cryopump for Semico Криогенный насос серии ECM для производства полупроводников и ионной имплантации

Описание

## Криогенный насос серии ECM для производства полупроводников и ионной имплантации Криогенный насос серии ECM — это высокотехнологичное вакуумное решение, разработанное для производства полупроводниковых микросхем и ионной имплантации. Благодаря автоматической регенерации, дистанционной интеграции с ПЛК и адаптивной термокомпенсации, он обеспечивает сверхчистый, стабильный и эффективный вакуум для передовых техпроцессов уровня 7nm и выше. Запросить сейчас Категории продукции - Сухой вакуумный насос, сухие спиральные насосы - Сухие винтовые насосы - Насосы Рутса - Кулачковый вакуумный насос - Винтовой вакуумный насос - Масляный вакуумный насос, двухступенчатые пластинчато-роторные насосы - Одноступенчатые пластинчато-роторные насосы - Безмасляный спиральный вакуумный насос - Масляный диффузионный насос - Гелиевый течеискатель, гелиевый масс-спектрометрический течеискатель - Аксессуары для течеискателей - Ремонтные детали для течеискателей - Масс-спектрометр - Оборудование для вакуумного течеискания - Вакуумметр - Вакуумная насосная система, турбомолекулярный вакуумный насос