Mibay CRYO-P Series High Vacuum Cryo genic Pumps for Semiconductor and Coating
Основные характеристики
Описание
## Высоковакуумные криогенные насосы серии CRYO-P для полупроводниковой промышленности и нанесения покрытий Криогенный насос серии CRYO-P — это высокопроизводительное безмасляное вакуумное решение, использующее криогенную конденсацию и адсорбцию. Достигая предельного уровня вакуума 10⁻⁷ Pa (до 10⁻⁹ Pa с прогревом), он предназначен для сложных задач в производстве полупроводников, нанесении тонкопленочных покрытий и имитации космического пространства. Благодаря гибкости установки, низким эксплуатационным расходам и настраиваемым коррозионностойким или прогреваемым конфигурациям, серия CRYO-P обеспечивает надежную, чистую и эффективную работу вакуума для передовых промышленных и научных сред. Запросить сейчас Категории продукции - Сухой вакуумный насос, сухие спиральные насосы - Сухие винтовые насосы - Насосы Рутса - Кулачковый вакуумный насос - Винтовой вакуумный насос - Масляный вакуумный насос, двухступенчатые пластинчато-роторные насосы - Одноступенчатые пластинчато-роторные насосы - Безмасляный спиральный вакуумный насос - Масляный диффузионный насос
Технические данные
| Быстрота действия (л/с) | N₂ | 1,700 | 2,400 | 4,000 | 5,000 | 10,000 | 17,000 | 21,000 | 28,000 |
|---|---|
| H₂ | 1.0×10⁶ | 1.2×10⁶ | 1.0×10⁶ | 2.4×10⁶ | 4.6×10⁶ | 8.5×10⁶ | 6.0×10⁶ | 1.5×10⁶ |
| Ar | 1,400 | 2,000 | 3,300 | 4,200 | 8,400 | 14,000 | 19,000 | 23,000 |
| H₂O | 4,000 | 6,900 | 9,500 | 16,000 | 29,000 | 39,000 | 57,000 | 70,000 |
| Max Throughput (Pa·L/s) | Ar | 1.2×10³ | 1.2×10³ | 2.0×10³ | 1.6×10³ | 1.7×10³ | 4.1×10³ | 1.7×10³ | 2.7×10³ |
| Производительность (Pa·L) | Ar | 1.0×10⁸ | 1.0×10⁸ | 2.1×10⁸ | 4.3×10⁸ | 5.8×10⁸ | 8.1×10⁸ | 5.8×10⁸ | 7.8×10⁸ |
| Предельное давление (Па) | 10⁻⁷ | 10⁻⁷ | 10⁻⁷ | 10⁻⁷ | 10⁻⁷ | 10⁻⁷ | 10⁻⁷ | 10⁻⁷ |
| He Fill Pressure (MPa) | 1.3±0.05 | 1.3±0.05 | 1.45±0.05 | 1.45±0.05 | 1.45±0.05 | 1.45±0.05 | 1.45±0.05 | 1.45±0.05 |
| Cool-down Time (min) | 100 | 112 | 100 | 120 | 160 | 165 | 180 | 240 |
Похожие товары
Ещё из категории Криогенные насосы
Оборуд.Срок — в предложении
