可更换部件清单
以下清单来自该泵型已固化的维修资料。
| # | 中文品名 | 英文品名 | Model / 料号 |
|---|---|---|---|
| 1 | ESA220 上泵 X 轴 Y 轴 | ESA220 Upper Pump X - axis Y - axis | Ebara ESA220 |
| 2 | ESA220 上泵齿轮 | ESA220 Upper Pump Gear | Ebara ESA220 |
| 3 | ESA220 上泵轴活塞环 | ESA220 Upper Pump Shaft Piston Ring | Ebara ESA220 |
| 4 | ESA220 下泵 X 轴 Y 轴 | ESA220 Lower Pump X - axis Y - axis | Ebara ESA220 |
服务范围与适用说明
清单表示可评估或匹配的部件，并非每次维修均需全部更换。最终维修范围、适配性与周期，以铭牌、序列号及拆检结果确认为准。
可询问维修及整机大修服务报价。
为便于准确报价，请提供泵序列号、铭牌照片、故障现象，以及是否可寄送检测。