
Mibay TXFJ-300 Ultra-High Vacuum Pum TXFJ-300 сверхвысоковакуумная откачная установка для полупроводниковой и научной промышленности
Основные характеристики
Описание
## Сверхвысоковакуумный откачной пост TXFJ-300 для полупроводниковых и научных применений Сверхвысоковакуумная откачная установка TXFJ-300 обеспечивает скорость откачки 300 L/s и предельный вакуум ≤3×10⁻⁵ Pa. Оснащенная молекулярным насосом с воздушным охлаждением, компактной мобильной тележкой и высокоточной системой мониторинга вакуума, она идеально подходит для производства полупроводников, масс-спектрометрии и медицинских приложений. Запросить сейчас Категории продукции - Сухие вакуумные насосы, сухие спиральные насосы - Сухие винтовые насосы - Насосы Рутса - Кулачковый вакуумный насос - Винтовой вакуумный насос - Масляный вакуумный насос, двухступенчатые пластинчато-роторные насосы - Одноступенчатые пластинчато-роторные насосы - Безсмазочный спиральный вакуумный насос - Масляный диффузионный насос - Гелиевый течеискатель, гелиевый масс-спектрометрический течеискатель - Аксессуары для течеискателей - Запасные части для ремонта течеискателей - Масс-спектрометр - Оборудование для поиска вакуумных утечек - Вакуумметр - Вакуумная насосная система, турбомолекулярный вакуумный насос - Индивидуальные вакуумные системы - Вакуум
Технические данные
| Спецификация | Value |
|---|---|
| Тип изделия | Ultra-High Vacuum Pumping Unit |
| Предельный вакуум | ≤3×10⁻⁵ Pa |
| Частота вращения турбомолекулярного насоса | 300 L/s |
| Mechanical Pump Speed | 10 m³/h |
| Предельное давление (No Ballast) | ≤0.5 mbar (50 Pa); TVR10: ≤0.5 Pa |
| Предельное давление (With Ballast) | ≤2 Pa |
| Входной фланец | Customizable DN 100 ISO-K |
| Выходной фланец | Customizable DN 16/25 ISO-KF |
| Test Chamber Size | Ø108 mm × 80 mm |
| Время разгона | 3–5 minutes |
| Охлаждение | Air-Cooled |
| Электропитание | 220/230V or 380/400V, 50/60 Hz |
| Масса системы | ≈80 kg |
| Габаритные размеры (Cart) | Stainless steel, ≥100 kg load capacity |
| Рабочая температура | 10–40°C |
| Vibration Amplitude | ≤50 μm |
| Скорость натекания | ≤1×10⁻³ Pa/h |




