
Mibay Non-Standard Ultra-High Vacuum Нестандартная сверхвысоковакуумная насосная система с трехступенчатой конфигурацией
Основные характеристики
Описание
## Нестандартная сверхвысоковакуумная насосная система с трехступенчатой конфигурацией насосов Нестандартная сверхвысоковакуумная насосная система оснащена трехступенчатой комбинацией насосов (турбомолекулярный, Рутса и пластинчато-роторный) и ПЛК-управлением, обеспечивая вакуум 3×10⁻⁵ Pa для высокоточных промышленных применений, таких как производство полупроводников и научные исследования. Запросить сейчас Категории продукции - Сухие вакуумные насосы, сухие спиральные насосы - Сухие винтовые насосы - Насосы Рутса - Кулачковый вакуумный насос - Винтовой вакуумный насос - Масляный вакуумный насос, двухступенчатые пластинчато-роторные насосы - Одноступенчатые пластинчато-роторные насосы - Безмасляный спиральный вакуумный насос - Масляный диффузионный насос - Гелиевый течеискатель, масс-спектрометрический гелиевый течеискатель - Аксессуары для течеискателей - Запасные части для ремонта течеискателей - Масс-спектрометр - Оборудование для обнаружения вакуумных утечек - Вакуумметр - Вакуумная насосная система, турбомолекулярный вакуумный насос - Вакуумные системы по индивидуальному заказу - Масло для вакуумных насосов - Вакуумные аксессуары, совместимые
Технические данные
| Спецификация | Value |
|---|---|
| Тип изделия | Non-Standard Ultra-High Vacuum Pump System |
| Предельный вакуум | ≤3×10⁻⁵ Pa |
| Molecular Pump Draw Speed | 1200 L/s (JTFB-1200) |
| Roots Pump Draw Speed | 150 L/s (BSJ150L) |
| Rotary Vane Pump Draw Speed | 70 L/min (2X-70) |
| Vacuum Measurement Range | 1×10⁵ to 1×10⁻⁵ Pa |
| Valve System | 2× KF25 pneumatic angle valves (<0.5s response), 1× DN200 baffle valve |
| Охлаждение | Water-cooled (molecular pump) |
| Электропитание | 380V, three-phase, 50Hz |
| Frame Design | Stainless steel, ≥300 kg capacity, with casters and enclosure |
| Connection System | 3× stainless steel bellows (300 mm, 500 mm, 800 mm) |
| Control System | PLC with touchscreen interface, multi-pump control, fault diagnosis |
| Габаритные размеры | [To be specified based on design] |
| Масса | ≥300 kg |
| Рабочая температура | 5–40°C |
| Макс. влажность | 80% |




